气氛型高温探针台
功能描述：
快速实现室温-200℃环境的控温，可在真空环境下对样品进行光学，电学测试，测试中也可实现惰性气体的快速充放。根据样品材料，形状不同可选择探针，插拔等多种安装测试方式。
气氛型高温探针台 快速实现室温-200℃环境的控温，可在真空环境下对样品进行光学，电学测试，测试中也可实现惰性气体的快速充放。根据样品材料，形状不同可选择探针，插拔等多种安装测试方式。气氛型高温探针台 半导体行业晶圆测试
气氛型高温腔参数：
① 温度范围：室温-200℃；
② 标准铂电阻温度计；
③ 控温精度：±0.1k；
④ 真空度：10E-3Pa；
⑤ 提供真空抽口*1、气体入口*1、气体出口*1、真空释放口*1；
⑥ 匹配观察窗，插拔样品卡，探针卡，鳄鱼夹。
气氛型高温探针台 半导体行业晶圆测试
注：产品为定制，不同规格价位不同，实际价格以沟通为准！
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