LiteScope™ NenoVision扫描电镜下AFM

LiteScope™

扫描探针显微镜的设计易于集成到电子显微镜中。 互补的SPM 和SEM 技术的结合使得能够利用两种常用显微镜技术的优势。

全面的样本分析，包括：

• 表面形貌的表征

• 机械性能

• 电性能

• 磁性

LiteScope™还可以与其他SEM附件结合使用：

• 聚焦离子束（FIB)

• 气体注入系统（GIS）

用于制造纳米/微结构和表面修饰。通过这种组合，LiteScope™可以轻松快速地对制造的结构进行3D检查。

其他优势

• 自感应探头，无需光学检测，无需激光调整

• 商用探头，多种测量模式

• 客户定制的探头可与根据客户要求设计的合适探头支架一起使用

• 测量头可以缩回到LiteScope™的主体中，以释放样品周围的空间

• SPM在倾斜位置（倾斜0°– 60°）的操作，小值 WD = 5毫米

• 用户友好的软件，无需特殊安装

• 远程访问结果和测量设置

相关探针 和电子显微镜（CPEM）已开发用于使用相关成像技术，并带来了解决方案，该解决方案可以同步：

• 扫描区域

• 分辨率和图像失真

• 并能够实时关联采集的SPM和SEM图像

NenoVision引入了CPEM技术

CPEM技术

CPEM可以在同一时间和同一协调系统中同时通过SEM和SPM对一个区域进行同时的表面表征。

以已知的恒定偏移量和相同的分辨率进行同时扫描，可确保在同一表面上进行分析，并可通过我们的NenoView软件直接用于在线成像。

LiteScope™数据

LiteScope™通常用于高真空中，但也可根据要求适用于超高真空条件。

• 总重量：1 kg

• 真空工作范围：10e5 Pa至10e-5 Pa

• 扫描范围X，Y，Z：100×100 ×1 00μm或38x38x38μm

• 分辨率：高达0.4 nm或0.07 nm

• 大样品尺寸：10毫米× 10毫米

• 大样品高度：8毫米

我们提供*非磁性的版本，也可根据要求提供闭环。

• 外形小巧，体积小， 可集成到SEM / FIB仪器中

• 易于集成的过程 –安装在SEM / FIB机械手上

• 当整个SPM探针隐藏在LiteScopeTM主体中时，可使用对接选项

• 通用探头支架，适用于多种SPM方法并易于“即插即用”组装

• 样品倾斜高达60°

• 针对低振动水平（刚度和适当的共振频率）进行了优化的机械设计，集成了前置放大器（以尽可能消除信号失真/噪声）

• 动态测量的大PLL频率为75 kHz，适用于基于音叉的探头（或使用外部PLL或根据客户要求更高）

• 每个扫描轴2 × 16位DAC（扫描范围，偏移），以在视场内的任何地方达到大分辨率

• 6 × 16位辅助输入，用于同时测量用户信号（±10 V）

• 输入通道可用于反馈回路混频器

• 探头信号输出/监控

• 外部探头激励

• 使用外部锁定/ PLL所需的所有连接

• 以太网连接到控制PC

• 110 VAC或230 VAC操作，200 W

• 前置放大器位于LiteScope™的主体内，可确保大大降低电噪声

• 保存数据以及所有信息，包括测量设置

• 基于Web的用户界面

• 易于新用户使用，对专家灵活

• 用户帐户可单独配置

• 远程访问用户数据

• 将数据从控制PC下载到本地计算机

• 通过平板电脑，智能手机等进行远程实验控制

• 集成的数据后处理，分析，导出等

成像模式

LiteScope™提供并支持各种SPM测量方法和探头。

其设计的基石和有价值的技术特征是通用探头支架，可以非常轻松地“即插即用”安装不同的探头。