YAMATO等离子灰化机
- 公司名称 浙江科瑞达科学仪器有限公司
- 品牌 YAMATO/日本雅马拓
- 型号
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2021/3/2 15:13:37
- 访问次数 1345
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!
产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
---|---|---|---|
应用领域 | 石油,电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气 |
YAMATO等离子灰化机,PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制(PR500/510)
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
用途:
- 去除光刻胶
- 部品清洗
- 界面活性处理
- 微研磨
- 硅晶圆,玻璃基板对应
特征:
- 大口径(Φ215mm)石英反应腔
- 小型一体化设计
操作简单的触摸屏方式(PR510型)
技术参数:
型号 | PR500 | PR510 | |
模式 | DP模式,桶型 | ||
控制部 | 高频输出功率 | Max500W | |
频率 | 13.56MHz | ||
同调方式 | 自动协调 | ||
反应部 | 反应腔 | 石英 Φ215×305mm | |
反应气体 | 2系统(O2/CF4) | ||
控制 | 手动 | 触摸屏自动控制 | |
配管材质 | 不锈钢、特氟龙 | ||
外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 参照规格书 | |
重量 | 约60kg | 参照规格书 | |
电源 | 单相AC100V 9A | 三相AC200V 8A |
PR200/300/301,从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。
用途:
- YAMATO等离子灰化机高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通过氧化反应,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影响)。同样在氮气等离子体中,氮原子被吸收在表面中,生成-NH 2等官能基。
- 硅晶圆蚀刻。
- 材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
- 石棉预处理(膜过滤灰化)。
- 从电子设备到生化市场。
- 低温灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
- 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
- 表面有机物去除。
特点:
- RF为200 W的高性能输出类型(PR200)。
- 由于是尺寸紧凑的台式机,很小的位置都可以安装。
- 同步,自动调谐,操作简单(PR200)。
- 等离子体反应器(灰化设备)(PR200)。
- 同步、自动调谐(PR200)。
技术参数:
型号 | PR200 | PR300 | PR301 | |
模式 | DP模式,桶型 | |||
控制部 | 高频输出 | Max300W | ||
频率 | 13.56MHz | |||
同调方式 | 手动2轴同调方式 | |||
反应部 | 反应腔 | 耐热玻璃 Φ100×160mm | 超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室 | 耐热玻璃 Φ118×160mm |
反应气体 | 1系统(氧气)流量计 | |||
控制 | 手动密闭阀 | 自动减压、自动密闭阀 | ||
配管材质 | 不锈钢、特氟龙、铜、铜合金 | 不锈钢、特氟龙 | ||
外形尺寸 | W350×D400×H500mm | W438×D520×H556mm | W438×D520×H630mm | |
重量 | 约10kg | 约36kg | 约34kg | |
电源 | AC100V 15A | AC100V 7A |