HORIBA SEC-N112JM质量流量控制器

HORIBA SEC-N112JM质量流量控制器

适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能，有效减少客户成本。

*1包括SEC-N177R

 SEC-N112JM产品特性

1.数字式/ 模拟式通信

     RS-485/DeviceNet/Profibus/模拟式（电流/电压）

2.可与其它系列产品兼容

     复合气体 / 复合量程

3.可以方便的在客户端更改对应气体和量程

    高精度控制： ±1.0% 设定流量.
    选用与SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.

4.快速响应：   在可控流量范围内,响应时间≦1 sec

5.内置PID参数，可以调整响应时间

6.气阀种类
 电磁阀 (~50SLM)
 压电陶瓷阀 (100/200SLM)

7.密封圈材质 ：橡胶 或 金属

8.气路表面 ：  未经抛光处理

9.接口 ：      仅有VCR接口

RoHS要求：   满足RoHS要求

HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围，客户可选择适合的类型。我们可提供三种阀门，客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式，包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (^*1), 以及PROFIBUS™(^*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至超大流量。

^*1 Devicenet是一种通讯方式的标志。
^*2 PROFIBUS是一种化的通讯方式标志。

HORIBA SEC-N112JM质量流量控制器