氦质谱检漏仪减压器检漏

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氦质谱检漏仪减压器检漏
减压器, 又称减压阀门, 是将高压气体降为低压气体, 并保持输出气体的压力和流量稳定不变的调节装置. 主要应用于半导体管路或实验室压力控制. 减压器本身如果出现泄漏, 会直接导致高压气体泄漏, 一旦气体属于有毒有害气体, 将导致严重的生产事故! 因此减压器在出厂前必须经过严格的泄漏检测, 氦质谱检漏法与传统泡沫法对比, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点, 在真空模式下, 可以显示 1X10^-12 mbar l/s 的漏率值, 上海伯东氦质谱检漏仪现已广泛应用于减压阀检漏

 
上海伯东减压器检漏客户案例: 某公司生产减压器, 主要用于半导体管路中气体减压, 调节气体压力, 减压器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S, 经过伯东*, 终选择前级泵为干泵的移动型氦质谱检漏仪 ASM 390

减压器检漏方法: 选用氦质谱检漏仪真空模式进行检漏, 减压器直接与检漏仪进气口相连, 用喷枪在怀疑有漏的地方进行吹扫,

上海伯东德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390

氦质谱检漏仪应用*:

结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. *氦质谱检漏仪应用 >>

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氦质谱检漏仪减压器检漏
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