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SFE-35型 超临界二氧化碳超声清洗系统

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    南通仪创实验仪器有限公司座落于江苏省海安市南莫镇工业集中区(黄陈村),是以设计、制造超临界流体装置和石油科研仪器为主的新型技术企业。产品用于新材料、新能源以及国防、医药、食品、石油化工等领域。

    长期以来,企业始终坚持“创新进取,与时俱进”的发展方针,专注于产品的拓展、升级。利用成熟的智能科技和现代化仪器设计理念,不断优化产品的工艺、性能,提升产品的综合竞争力。历经多年的坚实运营,企业在超临界流体应用和石油行业等方面积累了丰富、宝贵经验,先后形成具有很强竞争力的产品,超临界流体设备方面形成以超临界干燥设备、超临界萃取装置、超临界清洗设备以及超临界流体反应装置为主的系列产品;石油科研设备方面形成以岩心制备设备、岩心分析仪器、提高采收率仪器、钻井固井压裂分析仪器为主的系列产品。

    “注重细节,精益求精”是企业一贯的作风,在开拓提升产品的同时,企业注重产品的细节掌控,严格按照ISO9001:2015质量管理体系要求进行产品的过程和成品检验,保证产品安全可靠、质量稳定。牢记“产品的安全质量,从每个细节抓起”。

    在提高自身创新能力的同时,企业不断加强与国内科研单位的合作,先后与北京大学、国防科技大学、军事*防化研究院、北京理工大学、北京化工大学、北京工业大学、同济大学、中国民航大学、东华理工大学、中国航天科工六院、中国工程物理研究院、国核电运等科研院所建立协同合作关系。

    团结、创新、务实、奋进是企业矢志不渝的追求。企业倍加珍惜每位用户的认同,坚持"质量至上、用户至上、以质兴业、以优取胜"的经营宗旨,不断交予用户优质的产品,与用户优势互补、携手共进!

超临界萃取、超临界水氧化装置、高压高温反应釜、超临界CO2萃取装置

产地类别 国产 应用领域 化工

SFE-35超临界二氧化碳超声清洗系统

概述

超临界二氧化碳无损伤清洗设备。应用此设备对硅片进行清洗的颗粒明显减少,且平均粒径小于传统清洗的粒径。相对用等离子法清洗,该方法不会对硅片造成损伤,同时可减少工艺步骤,节省时间,提高工作效率。

超临界二氧化碳无损伤清洗设备拥有良好的温度和压力控制系统,并配有远程智能化操作系统,是一个适合高校和科研机构的半导体工艺平台。该设备有望解决微电子行业清洗工艺中的许多难题,例如刻蚀以及灰化后高纵深比结构清洗、刻蚀以及灰化后多孔低介电材料清洗、清洗后干燥、半导体器件金属颗粒的清洗等

超临界超声清洗目前应用领域很广的是核电特种清洗、电子电路芯片的清洗以及精密机加工件的表面和清洗

应用范围

在半导体方面,超临界二氧化碳清洗逐步代替刻蚀及灰化后产生的高纵深比机构和成品芯片上的辅焊剂、金属残屑采用传统的去离子水冲洗、酸蚀浸泡清洗、清洗剂清洗;

在新能源电动汽车制造方面,超临界二氧化碳清洗正被应用于对车轮毂层析片微隙间的清洗油污、微粒作业;

在精密工件以及铀屑方面,超临界二氧化碳清洗的优势得到很大的发挥,其具有的清洗物分离简单,收集方便,表面无需处理、环保节能被发挥得*;

三、SFE-35超临界二氧化碳超声清洗系统主要技术参数: 

序号

项目名称

性能参数

1

工作压力

≤40MPa

2

工作温度

室温~90

3

超声波清洗釜

35L/40MPa            

4

清洗工装

悬盘结构   60-120r/min

5

超声波功率

2×1kW

6

清洗釜

35L/40MPa            

7

清洗工装

层式弹性结构   1-8

8

回收釜

2×10L/30MPa

9

制冷系统

12000kcal/h 温控范围:-5﹢5℃  风冷

 

二氧化碳储罐

20L/16MPa

 

二氧化碳泵

400L/h  40MPa      柱塞变频可调 泵头带冷却

 

助溶剂泵

4L/h  50MPa      柱塞机械调节

 

自动化系统

液压伺服控制,实现自动与手动切换

 

电源

AC380V 50Hz   三相五线    30kW



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