日本thermocera陶瓷顶加热器醉高1800℃

总览

陶瓷顶部加热器可广泛用于真空，惰性气体和其他各种工艺气体中的薄膜研发应用，以及各种真空膜沉积设备应用。顶板由氮化铝制成，氮化铝在高温下具有出色的导热性，并且具有很高的电绝缘性（也可提供Inc600，石英，Mo，W，BN板等）。可以根据使用条件来选择加热器元件，例如金属线例如NiCr，Inc，Mo，W，碳加热器例如石墨和CCC，以及涂层加热器例如PG / SiC / PBN涂层。它不仅用于研发，而且在半导体制造设备和各种真空设备（超高真空设备，例如PVD，CVD，MBE等）中的高温热板和基板加热阶段方面也取得了许多成就。

*陶瓷顶部加热器是定制产品。要求估算时，请告知我们所需的规格和条件。

8“ NiCr元素800℃

3”石墨1300℃

6”西伯克大衣1400℃

2”石墨1200℃

使用

◉真空薄膜形成（CVD，溅射，ALD，PLD，MBE等）
◉薄膜应力/热分析
wafer晶圆退火的加热台
◉其他

使用的发热体：根据使用环境，可以从以下10种电线中选择

NiCr加热器Max1000℃◉Inconel
加热器Max1000℃ 
◉钨加热器Max1800℃ 
◉钼加热器Max1800℃ 
◉卤素灯加热器Max900℃ 
◉石墨加热器Max2,200℃（真空）
◉C / C复合加热器Max2,200℃（真空） ）
◉各种涂层加热器（PG，PBN，SiC涂层，玻璃碳）*醉高工作温度因工作条件而异。

顶板材料

nitride氮化铝
◉铬镍铁合金
◉不锈钢（SUS304，SUS316）
◉石英
◉钼
◉BN

醉高工作温度（元件温度）

主机连接方式

◉ICF法兰
◉ISO（KF，LF）法兰
◉JIS（VG，VF）法兰
◉M6双头螺栓固定
◉固定支架等（*每次开会）

热电偶（可添加用于车身控制和过热检测）

◉K型
◉R，C型

参考数据[1英寸大1600℃陶瓷顶部加热器]温升测试（*页面顶部右图）

参考数据[6英寸大1200℃陶瓷顶部加热器（CCC元件）]面内温度分布测量