EVG620 NT-掩模对准光刻机系统

一、产品特色

EVG620 NT-掩模对准光刻机系统|接触式光刻机提供国家的本领域掩模对准技术在小化的占位面积，支持高达150毫米晶圆尺寸。

二、技术数据

EVG620 NT以其多功能性和可靠性而著称，在小的占位面积上结合了先进的对准功能和优化的总体拥有成本，提供了先进的掩模对准技术。它是光学双面光刻的理想工具，可提供半自动或自动配置以及可选的全覆盖Gen 2解决方案，以满足大批量生产要求和制造标准。拥有操作员友好型软件，短的掩模和工具更换时间以及高效的球服务和支持，使它成为任何制造环境的理想解决方案。

EVG620 NT或*容纳的EVG620 NT Gen2掩模对准系统配备了集成的振动隔离功能，可在各种应用中实现出色的曝光效果，例如，对薄而厚的光刻胶进行曝光，对深腔进行构图并形成可比的形貌，以及对薄而易碎的材料（例如化合物半导体）进行加工。此外，半自动和全自动系统配置均支持EVG专有的SmartNIL技术。

三、EVG620 NT-接触式光刻机特征

1、晶圆/基板尺寸从小到150 mm / 6''

2、系统设计支持光刻工艺的多功能性

3、易碎，薄或翘曲的多种尺寸的晶圆处理，更换时间短

4、带有间隔垫片的自动无接触楔形补偿序列

5、自动原点功能，用于对准键的确居中

6、具有实时偏移校正功能的动态对准功能

7、支持新的UV-LED技术

8、返工分拣晶圆管理和灵活的盒式系统

9、自动化系统上的手动基板装载功能

10、可以从半自动版本升级到全自动版本

11、小化系统占地面积和设施要求

12、多用户概念（无限数量的用户帐户和程序，可分配的访问权限，不同的用户界面语言）

13、先进的软件功能以及研发与全面生产之间的兼容性

14、便捷处理和转换重组

15、远程技术支持和SECS / GEM兼容性

四、附加功能

1.键对准

2.红外对准

3.纳米压印光刻（NIL）

五、EVG620 NT技术数据

曝1、光源：

汞光源/紫外线LED光源

2、先进的对准功能：

手动对准/原位对准验证

3、自动对准：

动态对准/自动边缘对准

对准偏移校正算法

4、EVG620 NT产能：

全自动：一批生产量：每小时180片

全自动：吞吐量对准：每小时140片晶圆

晶圆直径（基板尺寸）：高达150毫米

5、对准方式：

上侧对准：≤±0.5 µm

底侧对准：≤±1,0 µm

红外校准：≤±2,0 µm /具体取决于基材

键对准：≤±2,0 µm

NIL对准：≤±3.0 µm

6、曝光设定：

真空接触/硬接触/软接触/接近模式/弯曲模式

7、楔形补偿：

全自动软件控制

8、曝光选项：

间隔曝光/洪水曝光/扇区曝光

六、系统控制

1、操作系统：

Windows

文件共享和备份解决方案/无限制 程序和参数

2、多语言用户GUI和支持：

CN，DE，FR，IT，JP，KR

实时远程访问，诊断和故障排除

3、工业自动化功能：

盒式磁带/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄，弯曲，翘曲，边缘晶圆处理

纳米压印光刻技术：SmartNIL