DC111 日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 秋山科技(东莞)有限公司
- 品牌
- 型号 DC111
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2020/8/28 11:44:42
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产品标签
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
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应用领域 | 医疗卫生,食品,建材,电子,制药 |
日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置DC111
设备是为MEMS器件和各种半导体研究开发的喷涂机。
1,支持MEMS器件
2,在不平坦的表面上均匀涂膜厚度
3,通孔和沟槽填充应用
4,配有加热器内置的样品架。样品温度gao可控制在100°C。
5,伺服电机使用我们的“ Si-servo”,它具有低振动,低热量产生和高精度的特点。
6,特殊规格也可提供。
特征
1.可以进行高精度,均匀的膜厚涂布
使用可以制成微粒的喷嘴,即使在常规旋涂器难以涂覆的区域,例如基材的倾斜表面,梯形和直角顶点,也可以形成均匀的膜。
另外,可以将内嵌的抗蚀剂施加到微调器难以实现的空腔,通孔和沟槽结构上。
适用的膜厚从旋转器级薄膜到超厚膜。膜厚度可以为1μm至600μm。(取决于化学性质。)
2.可以使用多种化学溶液
它支持AZ电子材料的AZ-P4000系列,Kayak Microchem Co.的SU8,KMPR系列等,
以及苯并环丁烯树脂(BCB)和各种聚合物。
也可以使用高粘度化学品。(取决于化学性质。)
3.减少化学药品的浪费
由于它被涂到小的必要表面上,因此不会浪费化学液体,例如旋涂。
另外,由于注射器被放置在喷雾单元附近,因此药液管线中的废物少。
日本三明电子sanmei三维抗蚀剂涂布装置DC111
技术指标 基本规格
项目 | 规范 |
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设备*名称 | DC111 |
喷涂机 | |
格式 | 喷嘴移动/样品固定喷涂方法 |
样品台尺寸 | DC111:220×220mm□ |
喷嘴移动范围 | DC111:垂直和水平300毫米 |
喷嘴移动速度 | 10-300毫米/秒 |
化学品体积控制系统 | 通过化学空气进料和微针 |
颗粒大小 | 大约5-15μm(取决于所用的流体) |
效用
项目 | 规范 |
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清洁干燥的空气 | 5Kg / cm 2(≒0.5Mpa)15升/分钟以上 (气管连接口Φ6mm一触式接头) |
电源供应 | DC111:1ΦAC100V 1800瓦 |
排气 | 外部排气量2300升/分钟 (连接管直径Φ100mm) |
外形尺寸和重量
项目 | 内容 |
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身体尺寸 | DC111:1000 x 650 x 680毫米(高x阔x深) (不包括突起) |
重量 | DC111:100公斤 |