AST椭偏仪薄膜分析仪SR300

基本功能

1，测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数
2，实现薄膜均匀性检测
3，实现反射、投射以及颜色测量

产品特点

  强大的数据运算处理功能及材料NK数据库；
  简便、易行的可视化测试界面，可根据用户需求设置不同的参数；
  快捷、准确、稳定的参数测试；
  支持多功能配件集成以及定制；
  支持不同水平的用户控制模式；
  支持多功能模拟计算等等。

系统配置

  型号：SR300
  探测器： 2048像素的CCD线阵列
  光源：高稳定性、长寿命的卤素灯
  光传送方式：光纤
  台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量，200mmx200mm的大小
  软件： TFProbe 2.2版本的软件

  通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连
  测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率
  电脑硬件要求：P3以上、50 MB以上的空间
  电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A
  保修：一年的整机及零备件保修

  波长范围：400nm到1100 nm
  光斑尺寸：500μm至5mm
  样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm
  基板尺寸：多可至50毫米厚
  测量厚度范围*：2nm～50μm
  测量时间：2毫秒
  精度*：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）
  重复性误差*：小于1 Ǻ

可选配件项

  用于传递和吸收测量的传动夹具（SR300RT) )
  低可测量直径为5μm大小的微光斑(MSP300)
  在多个位置下，多个通道用于同时测量 (SR300xX)
  在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘（SRM300-200/300）