六维测量系统XD –6D激光干涉仪

API公司XD系列激光干涉仪型号：

        一维测量系统XD –1D标准型&精密型
        三维测量系统XD –3D
        五维测量系统XD –5D标准型&精密型
        六维测量系统XD –6D 标准型&精密型

良好的结构设计：

API公司采用了稳定钢球与绝热层的双重定位设计，将干涉镜用高绝热层与激光器主机隔开，从而避免了干涉镜受热变形，用稳定钢珠将干涉镜前端的干涉区与下端底盘定位相连，从而使激光管及电路板发热而引起的热膨胀方向沿稳定钢珠中线向后，使得干涉镜不受影响，保证了测量准确性。

主要特性：

􀂾一次安装能测量6项精度指标包括线性定位误差、XX及YY两个方向直线度、偏摆角、俯仰角、滚动角
􀂾把反射镜换成五棱镜既可测量两轴间垂直度
􀂾两点调光线.无需三脚架. 测量调整简单快速
􀂾传统激光干涉仪测量20项精度指标(三轴)，约需3天的时间；API干涉仪只约需半天!
􀂾测量直线度/小角度/垂直度/转台时, 不怕断光, 可当自准直仪用, 用于机床装配调试

六维测量系统XD –6D激光干涉仪技术参数：

  5D/6D标准型：
  1. 线性：0.5ppm .
  2. 测量范围：40米(1D可选80米)
  3. 线性分辨力：0.001um.
  4. 偏摆角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
  5. *大范围：800角秒
  6. 滚动角精度：1.0角秒
  7. 直线度精度：(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
  8. 直线度*大范围：500um
  9. 垂直度精度：1角秒
  10. 温度精度：0.2摄氏度
  11.湿度精度：5%
  12.压力精度：1mmHg

图1：六维测量系统XD –6D激光干涉仪

仪器的溯源性：

API公司XD系列激光干涉仪的各项参数(线性、直线度、角度)都是溯源到国家和标准上的。这些精度都经过美国国家标准局(NIST)、中国计量科学研究院和德国PTB等机构的检验。
携带方便、操作简单：
全套系统重量仅为15千克.可以装入一个小型工具箱内。由于采用了凑型设计.XD Laser体积小，测量机床时无需使用三 脚架，使测量基准与机床的加工基准保持一致，简化了测量程序 (免拆机床护罩)。集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤， 减少了调整时间，提高了机床使用效率。
连续生产与*方案：
为了避免突然停机、停产，API公司为现代化的机加工车间提供*测量解决方案，也就是*方案。长期以来.车间管理人员一直以1D激光测量系统来绘制机床误差图及进行校准。而这样一来，想要测量完整的21项参数。则需要进行21到24次单独的安装调试.而且每一轴的每一次测量都需要1-2小时时间.因此，整个机床的测量过程通常要占用两到三个工作日.这就使得机床长时间处于停工状态，严重影响了车间的利润率和生产能力。采用API公司的XD Laser激光干涉仪就*避免了上述缺陷使得对机床的测量快捷、简便。