Torrey Pines 程控晶圆加热板

Torrey Pines 程控晶圆加热板是一种可编程的数字电热板，专为烘烤晶圆硅片而设计。 在手动操作模式中，只需设置一个目标温度，设备就会达到并保持该精确温度在±1°C之内。 在编程模式下，程序可以存储在内存中，以便即时调用和使用。 存储的程序将一次又一次*相同地自动运行。

根据需要，程序可以是简单的也可以是复杂的。 可以存储多个温度，温度上升速率（如果需要）和停留时间。 这些程序可以编写并存储在本机随附的分离式控制器中，或者当用户在后部的RS-232 I / O端口连接PC上来编写程序并通过PC运行该程序时，程序可以根据需要尽可能的简单或复杂。

特征

1.直径为354.24毫米（13.875英寸）的加热表面

2.研磨的平板铝非常适合12英寸（304.8毫米）或更小的硅晶片

3.可通过RS232 I / O端口或通过控制器从PC或工业控制器进行远程控制

4.可使用随附的分离式控制器对加热板进行控制和编程

5.温度范围从室温到350°C

6.可读且可设置为1°C

7.精度为设定值的1％

8.从加热板表面中间到侧面0.75 in范围内的温度均匀度优于1％

9.温度稳定性±1°C

10.校准至0.1°C以确保准确性

11.控制器可存储5个单独的程序，每个程序多可存储10个步骤，以进行各种手动操作，可重复的样品运行

12.程序可自动重复1到99次，如果需要，可以无限次重复

13.变温可以1°C /小时的基数增量从1°C到450°C上升或下降

14.1500 W加热器功率

15.机箱底部的*温度指示照明环。颜色从蓝色（无目标温度）变为黄色（加热至50°C以下）至红色（加热至50°C以上）。指示灯将闪烁，直到温度稳定在±0.2°C之内

16.内置倒数计时器，带有声音警报和可设置的自动关闭