日立热场发射扫描电镜SU7000

日立热场发射扫描电镜SU7000采用全新设计的探测器，使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据获得的信号来调整样品与透镜之间的距离（工作距离／以下简称WD），以设置佳的观察与分析条件，而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。而且，SU7000还配置了可同时6通道显示界面（前代机型只能同时显示4通道），进一步升级SEM控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高通量观察。它还标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样品的观察与分析。

日立热场发射扫描电镜SU7000创新点：

1. SU7000配置了可同时6通道显示界面（前代机型只能同时显示4通道），进一步升级SEM控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高通量观察。

2. 标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样品的观察与分析；

3. SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在不改变工作距离的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。

主要特点：

1．在相同WD的条件下，可同时实现二次电子、背散射电子观察与X射线荧光分析　

2．可同时实现6通道检测与显示

3．在 大像素10240 x 7680时，也可获得图像数据

4．同级别*设备中 多的可配置18个附件接口5．支持低至300Pa的低真空模式（选配）；*空间分辨率在1 nm/1 kV以下