MTI 电容位移传感器

MTI 电容位移传感器 应用范围：适于半导体、磁盘驱动器、机械用具、电子工业●位移、●厚度、●同轴度、●振动、●尺寸大小、●平坦度、●内外径、●发动机振动放大器规格：特点AS-9000AS-500MicroCap通道数多 2通道多6通道1通道1测量范围0 to 12.5mm (0 to 0.5 in.)2分辨率(%满量程) RMS0.00167%3精度(%满量程)± 0.02%频率响应标准的滤波器模块有(10Hz, 100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz or 5kHz)可选组件稳定稳定性± 0.01% FSR/ °C模拟输出 0-10 VdcBNC4BNC4欧洲标准螺丝端子输出阻抗50 电力需求 85到265 Vac 47到 440Hz 85到 265 Vac 47到 440 Hz可选12 Vdc ± 15 Vdc 求和放大器标准的双通道单位插板卡式没有操作温度4 to 38°C尺寸240x160x50mm175x140x340mm150x60 x13mm重量2.3 kg4.6 kg0.11 kg

MTI 电容位移传感器的应用

显微镜聚焦 „镜头的对准 „测量零件的外形 „测量零件的倾斜 „测量半导体硅片的厚度 „测量压电平台的位移 „测量振动 „测量电脑硬盘运行和厚度 „测量刹车盘的翘曲和厚度 „测量金属板的厚度 „测量光伏晶圆

MTI 标准探头的特点

● 电缆和探头使用的的温度范围: -130ºC  -- 200ºC (也有高温探头，在下一页有介绍)

● 连接头的使用温度范围: -65ºC -- 85ºC
● 精度: 高于满量程的±0.02% （当探头和放大器经过和被测物校准后）

● 标准放大器滤波带宽: 500Hz

● 可选滤波带宽 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel

● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 滤波带宽  Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程

● 探头和电缆互换性: ± 0.5%（在没有经过校准的情况下互换）
● 承受压力范围: 14MPa- (不适用于高温探头)

● 材料: 不锈钢结构,内部没有电子元器件
● 带线缆的探头，同轴电缆长度: 2.4m (可选延长线缆.)