HO-ED-P-06 holmarc Variable Angle Laser Ellipsometer
- 公司名称 北京思睿维科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 HO-ED-P-06
- 产地 印度
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2020/4/7 13:57:24
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 5万-10万 |
---|---|---|---|
应用领域 | 医疗卫生,生物产业 |
holmarc Variable Angle Laser Ellipsometer可变角度激光椭偏仪是一种非常灵敏的光学技术,可为薄膜计量提供的功能。椭偏仪利用光的相位信息和偏振态,因此可以实现埃级分辨率。椭偏仪的主要优点是无损检测,灵敏度高和测量范围广。可以通过这种技术精确地确定薄膜的光学参数,例如厚度和折射率。
在椭圆仪型号:HO-ED-P-06中,使圆偏振光入射到测试基板上,并分析线偏振的反射光的偏振变化。
该仪器包括两个同心旋转的臂,这些臂围绕着固定在较重基座上的精确刻度的圆盘。激光源固定在一个臂上,检测器组件固定在另一臂上。通过游标卡尺,刻度盘的刻度为1°,分辨率为0.1°。激光源和检测器的电源分开放置。偏振器,检偏器和四分之一波片被固定在光路中的精密旋转台中,刻度范围为0-360°,分辨率为0.1°。格兰-汤普森棱镜用于偏光镜和检偏镜。
图椭圆机的工作原理图
将样品放置在高精度千分尺驱动的垂直工作台上,高度调整范围为10 mm,分辨率为0.01 mm。激光源的入射角可在30°至90°之间调节。对于零点方法,如果需要,可以用微型屏幕代替检测器,以便目测确定零点。
如图所示,随机偏振的激光(532nm)通过偏振器,该偏振器将光的偏振从随机偏振改变为线性偏振。然后,线性偏振光穿过四分之一波片(将快轴设置为45度),该偏振片将偏振状态从线性更改为圆形。从样品薄膜反射后,圆偏振光变为线性偏振,分析仪测量偏振度。
技术指标
测量范围:1 nm〜300 nm
入射角:30°〜90°,误差≤0.1°
旋转范围
偏光镜:0°〜360°
四分之一波:0°〜360°
分辨率:0.1度
激光:DPSS(532nm,5mW)
激光臂
旋转范围:70度(从水平面开始)
主要规模:1度
分辨率:0.1度
探测器
类型:硅光电二极管
有效面积:5.8 x 5.8毫米
探测器臂
旋转范围:70度(从水平面开始)
主要规模:1度
分辨率:0.1度
样品架
高度调节范围:10毫米
驱动器分辨率:10微米
倾斜范围:+/- 2度
此款产品不用于医疗,不用于临床使用,此产品仅用于科研使用。
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