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化学品供液设备Local CDS

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大家好!无锡亚电智能装备有限公司是半导体晶圆行业湿法制程服务商,专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术,是*批推进半导体设备国产化的企业之一。公司核心产品为6吋、8吋、12吋湿法刻蚀清洗设备,包括槽式设备和单片设备,涵盖多种前道湿法工艺,如:B Clean,Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,Metal Etch等。此外,为应对个性化的清洗需求,公司还研发了多种辅助清洗机台,如:炉管清洗机,片盒清洗机,部件清洗机,本地化学品供液设备,湿法工作台,烘箱等。目前已与无锡上华、宁波中芯、广州粤芯、无锡华虹、重庆华润微电子等客户达成友好合作。

半导体产品、液晶、太阳能光伏、环保设备的研发、制造、维修

产地类别 国产 价格区间 面议
仪器种类 专用型 应用领域 电子

  无锡亚电智能装备有限公司是半导体晶圆行业湿法制程服务商,专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术,是*批推进半导体设备国产化的企业之一。目前公司的主营业务有湿法刻蚀清洗设备和半导体厂务工程,拥有泰州和无锡两个基地。

湿法刻蚀清洗设备业务

      公司核心产品为6812吋湿法刻蚀清洗设备,包括槽式设备和单片设备,涵盖多种前道湿法工艺,如: B CleanOxide Remove, Nitride Remove, PRStrip,  Particle  Remove, Solvent Clean,Wafer Reclaim, Metal Etch此外,为应对个性化的清洗需求,公司还研发了多种辅助清洗机台,如:Parts清洗机,Tube清洗机,湿法工作台,片盒清洗机,烘箱等。

半导体厂务工程业务

    半导体厂务工程业务主要定位于晶圆厂,业务内容涵盖:高纯特气输送和监测系统集成,高纯化学品输送系统集成,洁净车间系统集成。



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