SPN150i 德国SPS-EUROPE 匀胶机
- 公司名称 华仪行(北京)科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 SPN150i
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2023/5/23 10:18:39
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 10万-30万 |
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应用领域 | 医疗卫生,环保,食品,化工,石油 |
德国SPS-EUROPE 匀胶机
产品概述
德国SPS-EUROPE匀胶机具有转速稳定,启动快速,涂胶一致性和均匀性好等特点,广泛应用于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺制版表面涂覆。
工作原理
德国SPS-EUROPE 匀胶机的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
*特征
- 可编程全尺寸彩色触摸屏控制器,可拆卸,耐化学试剂腐蚀。速度、加速和时间可编程;无*程序存储空间,可存储旋涂多步骤工作协议,具有协议密保功能。
- 可编程转速范围: 1rpm-12,000rpm,转速参数设置范围广,高精确性旋转速度 (± 0.1 rpm)。
- 数字电机控制,带增速数字显示信号反馈,以避免转速过量,从而提升涂膜的品质。
- 防静电PET透明衬套,杜绝工作仓室的交叉污染。
- 一体化结构设计,壳体采用α-聚丙烯(NPP-H)材质,传动系统采用工程塑料材质,寿命长耐腐蚀。
- 采用经过热处理透明玻璃盖。玻璃盖带弹簧可自动将盖子固定在理想位置,玻璃盖上带注射器固定架和氮气扩散器,注射器固定架以固定的位移距离和位置注入抗蚀剂/化学试剂,氮气扩散器在旋涂过程可注入到工作舱氮气/氩气,工作舱环境可控。
- 安全互锁装置:工作舱盖锁止,舱盖打开旋转自动停止,真空不足或没有真空旋转自动停止,过载保护。
- USB端口:可上传和下载旋涂协议和软件。
- 三个外接控制端口,可用于接入注入单元自动控制,氮气扩散器控制等。
- 产品通过CE认证。
技术参数
型号 | SPN150i | SPN200i |
控制方式 | 全彩触摸屏控制界面 | 全彩触摸屏控制界面 |
结构材质 | 聚丙烯(NPP-H)材质 | 聚丙烯(NPP-H)材质 |
旋转速度 | 1-12000rpm ±1rpm steps | 1-12000rpm ±1rpm steps |
旋转精度 | ±0.1rpm | ±0.1rpm |
旋转方向 | 顺时针,逆时针,交换摆动 | 顺时针,逆时针,交换摆动 |
加速/减速 | 1-30,000rpm/秒 (每步可选) | 1-30,000rpm/秒 (每步可选) |
旋转时间 | 0.1-99999秒/步 | 0.1-99999秒/步 |
基片范围 | 160mm 或6"直径或4"x4"方片 | 260mm 或6"直径或6"x6"方片 |
腔体直径 | 202mm | 302mm |
外接控制端口 | 3个 | 3个 |
真空开关 | 有 | 有 |
外形尺寸 | 27.5x45.0x25.0cm(WxDxH) | 380x559x307cm(WxDxH) |