SER1000系列 粗糙度轮廓仪
基本参数
X轴：0-220mm可选Z轴：0-620mm可选 Z1轴：C:±0.5mm~5mm/R:±400μm轮廓传感器线性精度：≤0.15%f.s.粗糙度传感器线性精度：≤±(12nm + 6%)

SER1000系列 粗糙度轮廓仪产品特点

标准型，使用成本低。

电感式粗糙度轮廓传感器

无导头粗糙度测量

小量程高精度轮廓度测量

粗糙度、轮廓测量的复合机型

粗糙度、轮廓共用传感器，测量功能切换仅需更换测针即可

推荐规格

测量功能

轮廓测量功能

各种类型工件表面的线要素，点要素、点与点的距离、线与线的距离、各要素的位置度包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径，可进行直线度分析、凸度分析、轮廓度分析。

粗糙度测量功能

粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr

波纹度参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr

原始轮廓参数：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr

规格号

SER1000

X轴

100~220mm

测量范围

Z轴

320~620mm

Z1轴

C:土0.5～±5mm/R:士400ur

Z1线性精度:≤士0.15％.s

圆弧Pt

土0.3

轮廓精度

角度

士2

直线度0.5um/100mm线性精度:≤±(12nm+6％)残值噪声0.025um

粗糙度精度重复性

16≤3nm

截止波长:0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm评定长度cX2、3、4、5、6、7

X轴

0.1~10mm/s

驱动速度

Z轴

0.5~10mm/s

各种类型工件表面的线要素，点要素、点与点的距离、线与线的距离、各要素的

轮廓

位置度包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径，可进行直线度分析、凸度分析、轮廓度分析。

测量功能

粗糙度功能:Ra、Rp、RV、R2、Rz(js)、R3z、 RZDIN、Rぶ、Rmax、Rc、

Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、RK、Rpk、Rvk、M

粗糙度

Mr2、Rmr

波纹度参数:Wa、Wt、Wp、W、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr原始轮廓参数:Pa、Pt、Pp、PV、P2Z、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr

测量案例