NE-550 ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置NE-550
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 北京亚科晨旭科技有限公司
- 品牌
- 型号 NE-550
- 产地 北京
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2019/12/26 13:11:44
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 150万-200万 |
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应用领域 | 电子 |
ICP 刻蚀机 :高密度等离子蚀刻装置NE-550
特点:
等离子密度与向基板入射的能量能够单独控制,因此Process window宽。
均一性好。
离子性蚀刻到radical性蚀刻都能都大幅度控制。
构造简单,维护性能优越。
来自半导体技术研究所的工艺支持体制。
CS(Customer’s Support )解决方案的综合服务体制。
可选Cassette室,提高生产量。
丰富的Process Application:
1.ISM: Inductively Super Magnetron有磁场ICP型
2.ISM是可以由低电源得到稳定均一的放电,达到Damage少的蚀刻。
3.使用不挥发性材料的次时代memory‐Al2O3,磁性体,Pt, Ir, PZT, SBTO 等
4.超高频率器件,光器件。
‐绝缘膜,GaAs/AlGaAs(In),AlGaInP,InP,SiC,ZnSe, Sapphire,GaN,STO/Pt, Au/Pt, W, WSi, Ti, Mo, Ta, BCB, Polyimide,BST, STO
5.各种传感器器件等Photo Nic结晶。
6.MEMS(micromachine)
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