KJ-SR 系列 反射式宽光谱膜厚测量仪

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产品简介

KJ-SR  系列反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜，手机触摸屏 ITO 等镀膜厚度，PET 柔性涂布的胶厚等厚度，LED 镀膜厚度，建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。可用于测量 2 纳米到 3000 微米的膜厚，测量精度达到 0.1 纳米。 在折射率未知的情况下， 还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。此外， 用于jing确测量样品的颜色和反射率。样品光斑在 1 毫米以内。

KJ-SR 进行测量简单可靠，实际测量采样时间低于 1 秒。配合我们的 Apris SpectraSys 软件进行手动测量，每次测量时间低于 5 秒。Apris SpectraSys 支持 50 层膜以内的模型并可对多层膜厚参数进行测量。Apris SpectraSys 软件还拥有近千种材料的 材料数据库，同时可对折射率进行拟合。

同时，客户还可以通过软件自带数据库对材料，菜单进行管理并回溯检查测量结果。

应用领域

半导体镀膜 , 光刻胶；蓝宝石镀膜，光刻胶；太阳能镀膜剥离；卷对卷柔性涂布；车灯镀膜厚度；阳极氧化厚度；玻璃减反膜测量；ITO玻璃；各种衬底上的膜厚；PET镀层厚度等等

技术参数

产品型号

KJ-SR100

KJ-SR200

KJ-SR300

测试方式

可见光 VIS反射 (R)

紫外 + 可+UV+VIS反射 (R)

IR反射 (R)

波长范围

380 - 1050 nm

250 - 1050 nm

900 - 1200 nm

光源

钨卤素灯

钨卤素灯 + 氘灯

钨卤素灯

入射角

0 度 ( 垂直入射 ) (0 DEGREE)

参考光样品

硅片

光斑大小

About 1 mm（标配，可以根据用户要求配置）

样品大小

10mm 到 300 mm ( 可以根据用户要求配置 )

测量范围

15nm-100um

2nm-200um

200nm-3000um

折射率（厚度要求）

100nm以上

50nm及以上

-

准确性

2nm或0.5%

精度

0.1nm