SAT-5D 等离子键合仪/刻蚀
- 公司名称 赛奥特(北京)科技有限公司
- 品牌 赛奥特(SAT)
- 型号 SAT-5D
- 产地 中国
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/1/3 16:18:24
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 医疗卫生,生物产业,石油,能源,电子/电池 |
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型号:SAT-5D | 品牌:赛奥特(SAT) |
不锈钢/石英舱体 | Φ150 mm×L255mm |
工作气路 | 两路,可以选配MFC控制 |
射频频率 | 13.56MHz |
射频功率 | 0-150W,可调,扫频自动匹配 |
控制系统 | 液晶屏+薄膜数字按键,实时显示和检测舱内真空度值 |
时间范围 | 0—99分59秒连续可调 |
工作压力 | 样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节 |
工作气体 | 空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可 |
进气压力 | 空气:常压 连接气体钢瓶:0.1-0.3Mpa |
工作模式 | 手动模式和程序化自动模式 |
真空泵 | 抽速:1升到5升每秒 |
输入电源 | ~220V/50Hz |
整机尺寸(D*W*H) | 552X590X295mm |
重量(约) | 28Kg |