产地类别 | 国产 | 加热方式 | 电加热 |
---|---|---|---|
价格区间 | 1万-2万 | 控温精度 | 正负1℃ |
内部尺寸 | 300mm | 升温速度(达到最高温) | 20/min |
仪器种类 | 管式炉 | 应用领域 | 化工,石油,地矿,能源,电子/电池 |
最高温度 | 1200℃ |
产品介绍:
RTP红外灯管加热管式炉是一款精巧型快速热处理管式炉,配有石英腔体和真空法兰,采用红外灯管加热,升温速度可达50℃/秒,30段可编程序,PID自动控制,它是专为半导体或太阳能电池基片的退火而设计。
应用领域:
可在真空、气氛环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
技术参数:
RTP快速退火炉 | ||||
型号 | KJ-T1200-RTP | KJ-T1200-RTP | KJ-T1200-RTP | KJ-T1200-RTP |
极限温度 | 1200℃ | 1200℃ | 1200℃ | 1200℃ |
工作温度 | 1100℃ | 1100℃ | 1100℃ | 1100℃ |
石英管 | Φ60 | Φ80 | Φ100 | Φ120 |
温区长度 | 300mm | 300mm | 300mm | 300mm |
| 440mm | 440mm | 440mm | 440mm |
炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 | 氧化铝多晶纤维 | 氧化铝多晶纤维 | 氧化铝多晶纤维 |
加热元件 | 红外灯管 | 红外灯管 | 红外灯管 | 红外灯管 |
供电电源 | 220V/380V 50/60HZ | 220V/380V 50/60HZ | 220V/380V 50/60HZ | 220V/380V 50/60HZ |
升温速率 | 0-50℃/S | 0-50℃/S | 0-50℃/S | 0-50℃/S |
热电偶 | K型 | K型 | K型 | K型 |
密封方式 | 不锈钢密封法兰 | 不锈钢密封法兰 | 不锈钢密封法兰 | 不锈钢密封法兰 |
炉膛结构 | 开启式 | 开启式 | 开启式 | 开启式 |
滑动方式 | 左右滑动 | 左右滑动 | 左右滑动 | 左右滑动 |
更多规格可按照需求定制 |