BPG402-S 皮拉尼复合真空计

INFICON Bayard-Alpert Pirani 皮拉尼复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和 Pirani 两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中，测量范围为 5 X 10 -10 mbar至大气气压（3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 为负担

不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S，以经济高效的方式执行基本压力测量。 传感元件带有板载校准数据，保证更换传感器时的高再现性。

INFICON Bayard-Alpert Pirani

*从 5 x 10 -10 mbar 至大气气压（3.8 x 10 -10 Torr 至大气气压）的极其宽泛的测量范围

• 10 -8 - 10 -2 mbar 过程压力范围内低至 5% 的优良的可重复性。

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• Pirani 联锁保护丝极，防止过早烧毁

• 双长使用寿命氧化钇铱丝

• 备有可选的图形显示器和现场总线接口

• 高真空Pirani 自动调节，减少操作员的干预

• 传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证高再现性

• 对半导体过程和传输腔室的压力测量

• 工业镀膜

• 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

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