双温区PECVD系统 双温区PECVD系统电阻炉

双温区PECVD系统电阻炉由TL1200真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。双温区的管式炉每个温区可以独立控制、设置不同的温度。采用双层壳体结构，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，抽真空时真空度能够达到10-3Pa。该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源。该炉通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、*性和稳定性高所需的温度更低。

双温区PECVD系统电阻炉

主要特点：

  1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

  2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

  3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

  4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、*性和稳定性高。

  5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

    这款TL1200-PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽真空时真空度能够达到10-3 Pa，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、*等优点。

组件配置：

一、 采用宇电程序控温仪表。（可选配日本岛电，英国欧陆等进口品牌）

1、30段程序控温智能PID调节。（可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表）

2、具有过温保护、断偶保护，过温或断偶时电炉加热电路会自动切断，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。

3、带有485通讯接口（选购软件时标配）

4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能。

二、开门保护系统：该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者。

三、炉膛材料： 采用氧化铝多晶纤维材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。

四、加热元件：  采用瑞典康奈尔A1电阻丝加热元件， 温场均衡、使用寿命长。  

五、漏电保护功能： 该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。

六、软件控制系统（选购）：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。