电子探针X射线显微分析仪

仪器简介：电子探针X射线显微分析仪不仅有较高的X射线检出角，同时由于使用全聚焦的X射线分光晶体，能兼顾X射线检测的高灵敏度和高分辨率，并配有高稳定的电子光学系统，真空系统及高精度机械系统以及牛津X-射线电制冷能谱仪，是目前*的微区成分定量分析和形貌观察的大型科研仪器之一。

仪器主要特点及技术指标：

l分析元素范围： 4Be～94Pu

l电子束流稳定性：好于1.5×10^-3/H

l二次电子像分辨率：6nm

l加速电压：0~30kV

lX射线检出角：52.5°

l放大倍数：50×～300,000×

l分析速度：自动全元素定性分析时间≤60s

l大样品尺寸：100mm´100mm´50mm

l样品台小移动间距为0.01微米，机械系统精密度高

l可观察二次电子像（SEI)，背散射电子像(BEI)，吸收电子像，光学显微像，X射线面分布像等。兼顾微区成分定量分析和形貌观察

仪器主要功能及其用途：

l非破坏分析（分析时，被分析样品不会损坏，可以实现同点重复分析）

l微米尺度的空间分辨分析

l轻元素的定量分析

l元素的面分布分析

l痕量元素的成分分析

l精细结构分析

电子探针X射线显微分析仪适用于材料(陶瓷，合金，半导体材料等）以及矿物、岩石等固体材料的微区化学组成定性和定量分析，微区化学组成线分析，微区化学组成面分析以及材料、矿物和岩石等的微区形貌观察、成分分布图像等，是对试样微区组织结构，表面形貌观察及元素定量分析的有效手段。