STPA1603C STPA2203C 爱德华STPA1603C STPA2203C涡轮分子真空泵
参考价 | ¥ 350000 |
订货量 | ≥1 |
- 公司名称 昆山熙日机械设备有限公司
- 品牌 Edwards/英国爱德华
- 型号 STPA1603C STPA2203C
- 产地 英国
- 厂商性质 其他
- 更新时间 2019/4/21 12:03:50
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泵轴位置 | 其他 | 极限压力 | 10-7pa |
---|---|---|---|
排出口径 | KF40mm | 输送介质 | 其他 |
叶轮数目 | 其他 | 重量 | 35kg |
英国爱德华涡轮分子真空泵STPA1603C ISO200F 进气口
概述
小巧而强大的 Edwards STPA1603C 涡轮分子泵采用 Edwards 先进的转子技术进行设计。它提供*的吞吐量、高的可靠性和的性能,满足新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C 已经在的 200 mm 刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代 300 mm 氧化物腐蚀制程的需要。爱德华STPA1603C STPA2203C涡轮分子真空泵
应用
- 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
- 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
- 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 溅射
- 离子注入源,射束线泵送端点站
- MBE
- 扩散
- 光致抗蚀剂脱模
- 晶体/晶膜生长
- 晶片检查
- 负载锁真空腔
- 科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
- 高能物理:射束线、加速器
- 放射线应用:融合系统、回旋爱德华STPA1603C STPA2203C涡轮分子真空泵
功能和优势
先进的转子设计
改进的性能
更高的气体吞吐量
高度可靠
免维护
可用于严苛制程
5 轴磁悬浮系统
无污染
低振动
防腐蚀
可用于严苛制程
使用寿命延长
紧凑型设计
占地面积小
半机架控制器
先进的控制器设计
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
技术数据
入口法兰 ISO200F 出口 KF40 吹扫口 KF16 水冷却接头 PT1/4 抽速 N2 1600 ls-1 H2 1200 ls-1 压缩比 N2 >108 H2 >7 x 103 加热时的极限压力 10-7 Pa 大允许前级压力 266 Pa (2 Torr) 大氮气吞吐量 2500 sccm 额定速度 36500 rpm 启动时间 7 分钟 固定位置 任意 水冷却流量 2 lmin-1 温度 5-25 °C 压力 0.3 MPa 推荐的吹扫气体流量 20 sccm 输入电压 200 至 240 (± 10) V 交流 功耗 0.85 kVA 泵重量 35 kg 控制器重量 9 kg
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一、进口真空泵维修:
1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、进口真空泵配件销售:
1、类型:真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、进口真空油销售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。
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