CV-1000/CV-2000系列轮廓仪

CV-1000/CV-2000系列轮廓仪表面粗糙度测量的技术参数：
X1轴
测量范围:100mm或200mm
检测方法:线性编码器
驱动速度:80mm/s
移动方向:向后
直线度:(0.05+L/1000)μm(S4,H4,W4型)
0.5μm/200mm(S8,H8,W8型)
Z2轴(立柱)垂直移动:300mm或500mm
分辨率:1μm
检测方法:ABSOLUTE线性编码器
驱动速度:0-30mm/s、外加手动
检测器
CV-1000/CV-2000系列轮廓仪范围／分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(2400μm使用测头选件)
检测方法:无轨／有轨测量
测力:4mN或0.75mN(低测力型)
测针针尖:金刚石、90o/5μmR(60o/2μmR:低测力型)
导头曲率半径:40mm
检测方法:差动电感式

驱动器(X轴)和立柱(Z2轴)均配备了高精度线形编码器(其中Z2轴上为ABS型)。因此，在垂直方向对小孔连续自动测量、对较难定位部件的重复测量的重复精度得以提高。