iH600 iH1000 英国爱德华晶圆半导体iH600干式真空泵维修
| 参考价 | ¥ 450000 |
| 订货量 | ≥1 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 昆山熙日机械设备有限公司
- 品牌 Edwards/英国爱德华
- 型号 iH600 iH1000
- 产地 英国
- 厂商性质 其他
- 更新时间 2019/3/25 9:44:41
- 访问次数 3762
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| 泵轴位置 | 其他 | 抽气速率 | 150l/s |
|---|---|---|---|
| 功率 | 6.1kw | 极限压力 | 0.7pa |
| 流量 | 600m3/h | 排出口径 | NW40mm |
| 输送介质 | 其他 | 叶轮数目 | 其他 |
| 重量 | 415kg |
英国爱德华EDWARDS晶圆半导体iH600干式真空泵维修
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。英国爱德华晶圆半导体iH600干式真空泵维修
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
应用
- 负载锁
- 输送
- 计量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 预清洁
- RTA
- 剥离/灰化
- 刻蚀
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
功能和优势
- 优化了设施消耗。
- 无需预防性维护。
- 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
- 在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
- 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
- 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
- 整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。英国爱德华晶圆半导体iH600干式真空泵维修
技术数据
| 峰值速度 | 600 m3h-1 |
| 353 cfm | |
| 10000 l min-1 | |
| 极限真空 | 7 x 10-4 mbar |
| 5.3 x 10-4 Torr | |
| 0.07 Pa | |
| 典型轴封氮流量 | 4 slm |
| 进气口连接 | ISO100 |
| 出口连接 | NW40 |
| 15 psi 压降下典型冷却水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 415 kg |
| 极限功率输入 | 3.4 kW |
| 电机额定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.43 l |
所有数字均为无气镇时的典型值。
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