SAL1000G 原子层沉积系统
- 公司名称 凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 SAL1000G
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2021/11/27 17:50:47
- 访问次数 2025
联系方式：vicky18964505659,18964508748 查看联系方式
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息，谢谢!
凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司是由瑞典Hot Disk有限公司注资成立的，是一家朝气蓬勃的仪器商贸公司,在市场上享有良好的声誉。公司成立近二十年来，致力于成为热物性设备的系统供应商，主要业务是在中国和一些邻国开发、制造并销售瑞典Hot Disk品牌热常数分析仪。目前也代理日本ai-phase公司测试薄膜材料热扩散系数的设备，以及加拿大Thermtest公司所产的传统平板热流计法和热带法导热仪等先进热物性分析仪器。多年来，公司也是以色列Nanonics公司近场光学显微镜的中国国内供应商。近，我们增加了日本Advance Riko公司红外金面反射炉、日本SUGA公司SPS（放电等离子烧结炉）设备的国内代理。
如需了解更多请访问凯戈纳斯网站和公众号：
导热系数仪;原子力显微镜;近场扫描光学显微镜;激光拉曼光谱
| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 100万-200万 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
SAL1000G原子层沉积系统特点：
- 多样性 -
· 真空可移动的手套箱可以处理易氧化的样品。
· 前驱体标配两组阀门和气瓶。
· 可选择将前驱体加热至200摄氏度。
· 可选择基片自动旋转支架。
· 可选择粉体沉积配件。
· 可选择经济实惠的废气处理设备。
- 表现 -
· 保证基片表面上的每个均匀原子层针孔自由层沉积。
· 通过阶梯覆盖沉积在不均匀或3D形状的表面。
· 与CVD和PVD相比，可以获得更好的沉积，特别是对于具有更高纵横比和多孔沉积材料。
- 操作界面友好 -
· 触摸屏使用户可以轻松设置配方或沉积过程，并检查每个驱动系统的运动。
· 可进行自动沉积，并在沉积完成后自动完成N2排放。
· 手套箱的真空排气和惰性气体的引入也可自动完成。
- 安全性 -
· 这是具有各种互锁功能的高级设备。
- 具有轻柔关闭功能的顶部舱口使用户可以轻松地装载和卸载基片。
SAL1000G原子层沉积系统技术参数：
性能 | |||
真空度 | 到达压力 | ≤5Pa | |
成膜性能 | 膜厚分布 | ≤± 3% （φ 100mm） | |
设备构成 | |||
设备型号 | SAL1000G | ||
成膜方向 | 下表面 | ||
基底尺寸 | φ 100mm or 4 inch Max | ||
基底加热器温度 | 350℃ Max | ||
前驱体数 | 2 | ||
前驱体温度 | 150℃ Max | ||
净化气体 | N2 （气体控制：带流量计针型阀） | ||
手套箱 | 有机玻璃，真空-氮气吹扫式 | ||
真空泵 | 162L/min 旋片式真空机械泵 | ||
重量 | 本体：50kg，手套箱：35kg，真空泵：27kg | ||
可选配置 | 基片自动旋转支架 粉体沉积配件 废气处理设备 前驱体加热器- 200℃ | ||
安装要求 | |||
电源要求 | 电源 | 3相、 200V ± 10% 、15A 、50/60Hz | |
接地 | ＜100Ω | ||
线缆 | 5m 附赠 | ||
N2吹扫气体 | 供给压力 | 0.1 ~.0.2Mpa | |
接口 | 1/4 Swagelok | ||
压缩空气 | 供给压力 | 0.6 ~0.8Mpa | |
接口 | φ6mm 接口 | ||
真空泵排气口 | 排气口 | KF-25法兰 | |
设备排气口 | 排气口 | φ38mm x L28软管适配器 | |
安装尺寸 | W1000 x D700 x H900 | ||
采购中心
化工仪器网