充氮充氦氟油检漏平台

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公司名称 上海弘燊真空科技发展有限公司-J
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厂商性质 生产厂家
更新时间 2019/2/25 23:44:45
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上海弘燊真空科技发展有限公司是一家从事氦质谱检漏仪及中高真空产品的研发、生产和销售为一体的专业型高科技企业。　
主要产品：
    氦质谱检漏仪、真空配件、真空阀门、分子泵、分子泵机组等。产品广泛应用于制冷、航空航天、电力、电子、不锈钢保温器皿、真空、科学研究等领域。产品得到同行业及广大客户的肯定和称赞，全国各地。　
    公司技术力量雄厚，设备精良，产品质量一直瞄准国内*水平。产品以质优、价惠、服务全面而深受用户欢迎。
    公司自成立以来，坚持“技术创新、质量*、用户*”为服务宗旨，经过孜孜以求，锲而不舍的努力，深得社会各界人士的大力支持和用户的青睐。经过多年的努力，建立了一支团结、努力、敬业的工作团队，有能力在研发、销售、技术支持等各个方面，全面支持公司产品的生产、销售、维修等工作。

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氦质谱检漏仪、真空配件、真空阀门、分子泵、分子泵机组等

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产地类别	国产

商品描述：

充氮充氦氟油检漏平台是对半导体器件进行密封性、可靠性粗检漏的设备。这是密封电子器件背压法氦质谱检漏的配套设备，由两部分组成。*部分是被检密封器件压氮。第二部分是对被检密封器件压氟油。

这套设备有手动和PLC自动控制两种类型；有液面高度自动控制和过程状态显示‘压氦和压氟油分开，各自独立进行，灵活且互不干扰；关键零部件，如阀门、管道、法兰、压力罐和储油罐等，均用不锈钢制造。滤油罐可滤除5μm的固体颗粒，确保氟油清洁。

充氮充氦氟油检漏平台与氦质谱检漏仪配合，能够完成GJB36A-96、GJB548-96A和GJB128A-97标准中规定的对点子和半导体器件的检漏。

主要技术指标：

1. 压力表：数字式

2. 真空度： ≤50Pa

3. 充氦压力： 0.2～1.0Mpa，可调

4. 指示液温度（FC43）温度：（125±5）℃

5. 保压时间：1～10h，可调

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