Minilock-Orion III PECVD PECVD沉积
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- 公司名称 德国韦氏纳米系统(香港)有限公司
- 品牌
- 型号 Minilock-Orion III PECVD
- 产地 美国
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2023/2/17 17:01:15
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产地类别 | 进口 |
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PECVD沉积
Minilock-Orion III是一套zui xian jin的等离子增强型化学汽相沉积(PECVD)系统。 系统的下电极尺寸可为200mm或300mm,且根据电极配置,可以处理单个基片或带承片盘的基片(3”- 300mm尺寸),或者多尺寸批处理基片(4x3”; 3x4”; 7x2”)。
Minilock-Orion III用于有毒/发火PECVD工艺。沉积薄膜:氧化物、氮氧化物、氮化物、无定形硅和碳化硅。工艺气体:100%硅烷、氨、TEOS、二乙基硅烷、氧化亚氮、氧、氮、*基硅烷和甲烷。
该系统可选配一个三极管(Triode)或电感耦合等离子(ICP)源。三极管源使得用户可以创建高密度等离子,从而控制薄膜应力。
基片通过预真空室装入工艺室,其避免了与工艺室以及任意残余沉积副产品接触,从而提高了用户的安全性。预真空室还使得工艺室始终保持在真空下,从而保持反应室与大气隔绝。