KeysightB150/B1506A KeysightB1500A测量CNTFET和CNTSET

佳捷伦提供KeysightB1500A测量CNTFET和CNTSET
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佳捷伦提供KeysightB1500A测量CNTFET和CNTSET
KeysightB1500A半导体器件分析仪
国外的碳纳米管(CNT)结构让科学界产生了极大的兴趣。碳纳米管有很多潜在应用，但当前纳米
技术研究的重点大多集中在电子元件结构上，例如碳纳米管场效应晶体管(FET)和碳纳米管单电
子晶体管(SET)。

多年来，Keysight4155C和4156C实际上已经成为表征半导体器件的行业标准测试仪器。而
且，它们还是表征纳米技术器件的有效工具。不过，在分析纳米技术器件的电子属性时，新型
KeysightB1500A半导体器件分析仪也是*的仪器，并且它还具有4155C和4156C所不具备的
优点。
本应用指南以日本大阪大学的K.Matsumoto教授所做的一项研究为基础。Matsumoto教授以
4156C精密半导体参数分析仪为测量工具，重点研究手征性是如何决定碳纳米管场效应晶体管
(CNTFET)及碳纳米管单电子晶体管(CNTSET)的电子属性的。新型B1500A同样适用于这项研究，
且B1500A还具备其他优点，例如它有一个包含进行测量所必需的应用测试的应用程序库。
碳纳米管也被作为特大规模集成(ULSI)互连材料而进行研究，因为碳纳米管可以支持*的电流
密度(比铜的大一千倍)，并具有很高的热传导性(比铜的大十倍)。碳纳米管还可作为场发射显
示器电源，而其近亲—碳纳米角，则有可能是构造燃料电池的好材料。对于表征这些基本的碳
纳米结构来说，B1500A是极jia的工具。
综合的小电流测量和纳米技术研究能力
对研究和表征纳米技术器件而言，一台具有稳定的低电压、小电流测量能力的仪器是很
重要的。要建立良好的纳米技术测试环境，有两个必要的基本条件：合适的测量仪器和
低噪声的测试环境。要在研究工作中达到*效率，除基本的测量性能外，易于使用的
硬件和软件界面也很重要。
测量仪器
是德科技提供了两种很适合纳米技术测量的仪器，即Keysight4156C精密半导体参数
分析仪和KeysightB1500A半导体器件分析仪，如图3和图4所示。4156C有固定配置，
即四个电源/监测单元(SMU)、两个电压监测单元(VMU)和两个电压源单元(VSU)。这
些测量资源能够满足大部分参数表征需求。4156C也有一个交互式前面板，将固定硬
件按键和软件按键相结合，这提供了便捷和紧凑的操作环境。

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