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θx轴 P22 压电偏转镜

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压电偏转镜

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哈尔滨芯明天科技有限公司专注于纳米级精密定位产品的研发、生产和销售,主要服务于制造精密设备的客户。自2004年起,经过10多年的快速发展,公司产品已覆盖全国各地的高校、科研院所以及精密设备制造企业,并远销欧、美、日、韩等地。公司与众多高科技企业、国家重点实验室建立了合作伙伴关系,已经成为中国*的精密定位产品生产厂商。

 

芯明天已获得技术企业认定,研发实力雄厚,截至2013年年底,拥有20多项,包括发明,实用新型,外观,软件著作权等,涵盖了精密定位、检测、传感、控制、软件等精密定位方面的关键技术。

 

芯明天为国内外客户提供精密定位技术解决方案及系列化产品,可实现亚纳米的分辨率及纳米级定位精度。产品主要包括压电材料、压电陶瓷片、叠堆压电陶瓷、精密压电促动器、压电马达、压电直线电机、16维纳米精度定位台/扫描台/运动台/位移台、13维纳米精度偏转台/旋转台/压电偏转镜、压电物镜定位器、六自由度并联机构、压电陶瓷驱动电源、压电陶瓷驱动器/控制器、电感/电容/激光测微仪等系列产品,同时我们提供压电点胶阀维修等服务。

 

目前公司产品已广泛应用于半导体技术、光电子、通信与集成光学、光学仪器设备、医疗生物显微设备、生命科学、精密加工设备、新药设计与医疗技术、数据存储技术、纳米技术、纳米制造与纳米自动化、航空航天、图像处理等领域。 芯明天正在为中国的工业自动化、国防、航天等事业的发展贡献着自己的一份力量。

 

聚焦纳米科技产业发展,以拥有自主知识产权的精密定位技术为基础,广泛汲取*技术经验、开拓创新,不断突破行业技术壁垒,为国内外客户提供个性化解决方案,协助客户攻克技术难题,实现企业价值与客户价值的共同提升。

 

产品主要包括压电材料、压电陶瓷片、叠堆压电陶瓷、精密压电促动器、压电马达、压电直线电机、1至6维纳米精度定位台/扫描台/运动台/位移台、1至3维纳米精度偏转台/旋转台/压电偏转镜、压电物镜定位器、六自由度并联机构、压电陶瓷驱动电源、压电陶瓷驱动器/控制器、电感/电容/激光测微仪等系列产品,同时我们提供压电点胶阀维修等服务。

P22系列压电偏转镜是一维θx轴偏转镜/快反镜,柔性铰链导向设计具有零摩擦及静态阻力、优异的导向精度。提供纳弧度的分辨率和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达8mrad, 具有极快的响应速度(毫秒至微秒级),非常适于动态操作(例如跟踪、扫描、漂移及振动消除)及光学和样品的静态定位。

 

结构原理

平台由一个铰链支撑,并且由一个线性压电促动器推动。铰链确定了轴心点,兼起到给压电促动器施加预紧力的作用。单个铰链单个促动器设计的优点是结构简单、体积小巧、性价比高等。如果角度偏转时工作环境温度变化范围较大,推荐使用差分驱动压电偏转镜。

 

小体积、高动态、开环闭环可选

压电驱动俯仰/偏转台(快反镜/倾斜镜,光束偏转,相移器)提供比音圈电机类产品更高的加速度及带宽,θx轴偏转范围为4mrad,偏转分辨率达0.1μrad,开环闭环可选,闭环传感器包括应变传感器及电容传感器,可获得更高的定位精度。

超小体积设计,具有非常快的响应速度,可带载Ø15mm的镜片实现0.8ms的阶跃时间。



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