产品主要包括压电材料、压电陶瓷片、叠堆压电陶瓷、精密压电促动器、压电马达、压电直线电机、1至6维纳米精度定位台/扫描台/运动台/位移台、1至3维纳米精度偏转台/旋转台/压电偏转镜、压电物镜定位器、六自由度并联机构、压电陶瓷驱动电源、压电陶瓷驱动器/控制器、电感/电容/激光测微仪等系列产品,同时我们提供压电点胶阀维修等服务。
压电扫描台为二维XY轴扫描平台,一体式结构设计原理,压电陶瓷直驱机构,可实现8μm的扫描范围,台体高度仅为17mm,闭环版本具有超高的定位精度,适用于显微扫描等应用。
压电陶瓷嵌套式一体结构
N63压电扫描台采用压电陶瓷直驱机构设计原理,嵌套式机构使其具有非常良好的动态性能。
一体式超薄结构、高分辨率、闭环精度高
N63压电扫描台为XY二维平移扫描台,平台采用柔性铰链导向压电陶瓷直驱的机构设计,具有无间隙、无后坐力、无摩擦等特点,使其具有超高的分辨率达0.2nm。
可选择内置高性能传感器实现8×8μm范围内超高的定位精度。
N63压电扫描台由于具有超薄的结构,台体仅为17mm,中心通孔非常便于与显微镜配套安装。