MarSurf CWM 100 德国马尔白光干涉仪和共聚焦的3D测量系统

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马尔MarSurf CWM 100高精度测量

描述

高精度，计算机控制，亚微米级分辨率的光学测量仪器MarSurf CWM 100一款结合白光干涉和共聚焦的3D测量系统。
• 合适技术，光学，反射表面，印刷电路板，半导体，以及生物组织的通用测量仪器
• 2D表面分析及测量评价
• 形貌3D分析及测量评价
• 快速测量 — 非常短的测量时间
• 全自动拼接功能，便捷扩展测量范围
• 全自动载物定位平台：100 mm x 100 mm，更大范围可供选择
• 各种物镜选择来适应测量物体
• 大理石平台及立柱，JUE对结实稳定的结构
• 专业的评价软件基于 MountainsMap©

供货范围
• 传感器系统：
- 共聚焦镜头KFM 带6位置转轮
- 相机 768 pixel x 582 pixel，高达48 images/s
- CNC控制Z轴，带Heidenhain玻璃光栅尺
- WLI 软件模块，软件"Inspector"
• 大理石平台及立柱以及CNC控制载物平台
• Z轴和XZ平台多轴控制来进行定位和图像拼接
• 镜头 50x0.8 EPI (共聚焦)
• Objective 20x0.4 DI (白光干涉)

应用
机械工程——各种金属表面 (麿加工，滚筒等.)，激光纹理表面，陶瓷和塑料表面，模具表面
医疗行业——植入物，假肢和仪器的金属，陶瓷和塑料表面
电子行业——镀膜表面分析，电子元件和半导体测量和分析
光学行业——各种光学元件的形状和粗糙度分析(所有材料).