组合式探针台钨钢探针精密运动探针座
探针台参数:
1.底部蜂窝芯光学平板,具有隔振功能,固有频率8-10Hz,适用于光学成像实验!
2.龙门架结构,搭配磁性光学平板,方便与磁性元件连接!
3.龙门架两端分别有两个带磁性探针调整座,方便固定,探针座行程X,Y,Z各5mm,精度10微米!
4.龙门架中间是XYZ三维精密调节位移台,其中X,Y轴行程25mm,精度10微米,Z轴升降台行程60mm,精度10微米!
5.三维位移台上方是可旋转式进口真空吸附盘,卡盘尺寸6英寸,平面度0.05mm,有四个吸附孔,可以和日本进口的真空吸附泵直接连接!
6.日本进口300倍变焦高分辨率高清晰度带CCD成像显微镜,搭配8寸高清显示器,方便移动操作,清晰成像!
组合式探针台钨钢探针精密运动探针座