STACIS III 美国TMC主动隔振光学平台系统
- 公司名称 森泉（上海）光电科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 STACIS III
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2022/11/21 10:14:39
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| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,生物产业,能源,电子 | 有效隔振 | 0.6Hz到150Hz |
美国TMC主动隔振光学平台系统
StacisIIIC是TMC的基于标准StacisIII设计研发的主动压电振动消除系统的紧凑小型版本。它在降低高度时具有同样出色的隔振性能。
在没有或非常低振动的地板面情况下，Stacis III是 zui,好 的 选择，但有时标准 Stacis III系统的高度会使电镜设备的总高度过高。 在由3个隔振器组成的配置中，隔振器高度比标准Stacis III高度低大约40%。 在具有多余3个隔振器的系统中，高度将介于60%和70%之间，具体取决于有效负 载。详情请参见以下规格。
STACIS® III特征及优点：
改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面
隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％至70％的隔离率
频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔振率大于90％
降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行
有效隔振范围，0.6Hz到150Hz
获得众多用户的广泛认可和肯定
6向自由度硬安装设计，无需空气悬架
强大的控制系统无需定期重新校准
point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容
随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形
TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振
数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）
提高客户产品产量、质量、成品率。
符合RoHS标准
zui,宽的主动隔振带宽，*的低频隔振效果
亚赫兹的主动震动消除，zui,主要在0.6-6Hz频段内的隔振
可堆叠式设计
主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连
被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚至无需调谐
由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器
负载可达2000kg
市场上*的主动隔振系统
STACIS® III性能规格：
Active degrees of freedom | 6 |
Active bandwidth | 0.6 Hz - 150 Hz |
Passive natural frequency | 18 Hz vertical and horizontal |
Effective active resonant frequency | 0.5 Hz |
Isolation at 1 Hz | 40% - 70% |
Isolation at ≥2 Hz | ≥90% |
Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction) | 0.3 sec |
Internal noise | <0.1 nm RMS |
Operating load range per isolator | Low capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg) Med capacity: 900-2100 lbs (408-953 kg) Hi capacity: 1900-4500 lbs (862-2041 kg) |
Static lift capacity per isolator | 9000 lbs (4090 kg) |
Stiffness (1000 lb / 454 kg mass, Med capacity isolator) | 40,000 lb/in. (73 x 105N/m) |
Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the isolator | <0.02 μG broadband RMS |
STACIS用户及应用领域：
1、微电子、半导体
晶片检测
显微光刻技术
掩膜校准
2、科学研究、纳米技术
SEM、TEM
STEM、SPM
3、激光台
生命科学、药物研发
4、工业应用
精密加工
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