MM3A-EM 微纳操纵仪
- 公司名称 上海溪拓科学仪器有限公司
- 品牌 德国Kleindiek
- 型号 MM3A-EM
- 产地 德国
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2024/12/10 15:16:17
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MM3A微纳操纵仪
功能：用于SEM,FIB和其他显微平台下的纳米级显微操纵。微镊子，弱电流测量屏蔽，旋转，微力测量等插件进一步拓展MM3A的功能。
功能插件（Plug-in Tools）：
Microgripper微镊子
Rotationaltip 旋转臂
Lowcurrent measurement kit 弱电流测量屏蔽套件
Microsoldering unit 微焊接
Microinjector微注射
GasInjection System 气体注射系统
Forcemeasurement system 微力测量
产品特点（Features）：
纳米级精度，厘米级工作范围
定位的长期稳定性，“零”漂移
可适用于各种SEM/FIB显微平台，包括Load lock
丰富的功能插件
技术参数（Specifications）
尺寸：62.1（L）*20.4（W）*25.4mm（H）
重量：45g
操纵范围：12mm（C轴）, 240o(A,B轴)
位移速度：≥2 mm/s（C轴），≥10 mm/s（A,B轴）
分辨率：0.05nm（C），0.25nm（B），0.5nm（A）
保持力：1N
保持扭矩：3-4Nmm
探针电流范围：10 nA to 100 mA
最大探针电压：100V
真空度：10-7 mbar
应用领域（Application）：
原位提取（In-situ lift-out）
纳米探测（NanoProbing）
微纳操纵（NanoManipulation）
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