21S系列 ALICAT 气体流量控制器

美国ALICAT 21S系列抗腐蚀型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的21S系列数字式质量流量控制器可用于快速准确地测量并控制腐蚀性气体(如NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。

气体流量控制器产品特点 ：

● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力
● 可选高精度：优于0.5%
● 高量程比 100:1
● 响应时间快 仅需100ms(可调)
● 内置130种常规以及腐蚀性气体（如介质是lv气CL2 或 二氧化硫SO2，订货时，需特殊说明）
● 可现场标定混合气体，并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体

气体流量控制器技术参数 ：

介质要求：洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可

介质种类：内置了130种气体，请咨询

一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量程：从0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（详情请咨询）

量程比：100:1

max显示流量：102.4%FS

显示屏：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精度：± (0.8%RD 0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程

高精度：±(0.4%Rd 0.2%FS)，选配

仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备

重复性：± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移：0.02% F.S / ºC / Atm

预热时间：<1s

响应时间：100ms

标定工况：25ºC & 100kPa 绝压、20ºC & 100kPa 绝压、0ºC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)

工作温度：-10 ～  50 ºC

工作湿度：0-100%,无冷凝

标准max工作压力：1MPa 表压

标准极限耐压：1.2MPa 表压

中压选项：2MPa

数字输入/输出信号：RS232、RS485、Modbus、Profibus*

模拟输入/输出信号：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流：250mA ～ 750mA

电气接口：8针Mini-DIN、DB9、DB15、6针工业接头

材质：316L不锈钢、303不锈钢, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根据特殊气体选用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

防护等级：IP40

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及

供电电流需咨询我们

产品选型 ：

选项及配件 ：

●标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
低压损
无需预热
316L不锈钢本体&传感器
FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可选
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字输出
RS-232多点式数字输入 (仅用于质量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模拟信号输入可选 (仅用于质量流量控制器)
可调节PID算法 (仅用于质量流量控制器)
内置130种常用气体可选 ，开放COMPOSER™ — 气体编辑器，允许用户自定义混合气体组分
200:1 量程可调比
NPT 接头
可测量和控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量
有条件的终身质保
●可选性能
高精度
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
ProfiBUS数字信号输入(仅用于质量流量控制器)
RS-485数字信号输出
4-20mA模拟信号输出
第二种模拟信号输出
TFT背光彩色显示屏
远程显示屏
远程TFT背光彩色显示屏
丙烯酸绝缘涂层
EPDM 密封
NeSSI 本体
氧气清洁
用于高温环境的远程电子包装
SAE 接头
VCR, VCO 接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
双向流动
额外标定点
定制混个气体（至多4种）
定制流量范围
不锈钢阀门 (仅用于质量流量控制器)
高流量低压损阀门 (仅用于质量流量控制器)
集成式电位计控制 (仅用于质量流量控制器)

应用及案例 ：

● 大学/研究所
● 环境监测
● 真空行业及镀膜
● 工业炉窑
● 汽车制造
● 计量
● 过程工艺气体测量