BPG402-Sx 计量仪BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

BPG402-Sx 大气压至超高真空真空计

INFICON 贝阿德-阿尔珀特皮拉尼（Pirani）BPG402-S型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑型装置中，测量范围为 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择带有两根氧化钇镀层铱丝的BPG400型真空计，价格经济，且可重复测量基准压力。传感元件自带的在轨校准数据在更换传感器时确保了高再现性。
益处

测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）

10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性

皮拉尼联锁保护单丝，防止过早烧毁

两根使用寿命长的氧化钇铱丝

备有可选的图形显示屏和现场总线接口

高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预

易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性

RoHS 合规

典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量

工业镀膜

低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制
类型 BPG402-S

测量范围（空气、O2、CO、N2）      5×10-10 … 1000

精度

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    ±15

可重复性

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    5

除气 (1)

p < 7.2 × 10-6 mbar    electron bombardment, max. 3 min

压力，zui大   bar (absolute)  2

温度

运行（环境） °C 0 … +50

贮存 °C -20 … +70

在法兰处烘烤，无电子设备 BPG402-S °C 80

无电子设备，在法兰处烘烤 BPG402-SL    °C 150

电源电压     +20 … +28

输出信号模拟

输出信号 V   0 … +10

测量范围 V   +0.774 … +10

电压与压强   volts per decade    0.75

错误信号 V   0.1 / 0.3 / 0.5

zui小负载电阻 k?  10

设定点继电器

设定点数量       1

范围 mbar    1×10-9 … 100

继电器触点       n.o., potential free

滞后 % of reading    10

触点额定值       ≤30

数字功能     degas

接口（数字）(2)      RS232C

发射控制     automatic / manual via interface

单丝    two Yt2O3 coated Ir

单丝状态/继电器      LED / relay

电气连接     D-Sub, 15-pin, male

电缆长度，zui大 (3)   m (ft.) 100 (330)

暴露于真空的材料     Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF g   450 / 710

保护等级     IP30

Profibus DP

波特率      9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址    2 switches (address 00 - 127) or network programmable

数字功能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模拟功能     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

设定点继电器： 设定点数量     2

设定点继电器： 范围  mbar    1×10-9 … 100

设定点继电器： 继电器触点     n.o., potential free

设定点继电器： 滞后  % of reading    10

设定点继电器： 触点额定值     ≤30

Profibus DP 连接器       D-Sub, 9-pin, female

CDG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器        D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™ 

协议    DeviceNet™, group 2 slave only

数据率开关   kBaud   125, 250, 500 or network programmable

电缆长度 125 kbps    m (ft.) 500 (1650)

电缆长度 250 kbps    m (ft.) 250 (825)

电缆长度 500 kbps    m (ft.) 100 (330)

MAC ID      2 switches (address 00 - 63) or network programmable

数字功能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模拟功能     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

技术规格     DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

设备类型     ''CG'' for combination gauge

I / O 从属传讯       polling only

设定点继电器： 设定点数量     2

设定点继电器： 范围  mbar    1×10-9 … 100

设定点继电器： 继电器触点     n.o., potential free

设定点继电器： 滞后  % of reading    10

设定点继电器： 触点额定值     ≤30

DeviceNet™ 电源电压      +11 … +25

真空计电源电压       +20 … +28

DeviceNet™ 连接器        Microstyle, 5-pin

BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器        D-Sub, 15-pin, male

以太网 

以太网协议       protocol specialized for EtherCAT

通讯标准     ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"

节点地址     Explicit Device Identification

物理层      100BASE-Tx (IEEE 802.3)

以太网数字功能       read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information

过程数据     Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping

(CoE)      SDO requests, responses and information

以太网连接件     RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT

电缆    shielded Ethernet CAT5e or higher

电缆长度 m (ft.) ≤100 (330)

1) 除气期间降低精度

2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允许使用现场总线

3) 适用于 RS232C 运行 <30m
353-570 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-571 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-572 BPG402-S 真空计

353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-576 BPG402-SD 型真空计

353-577 BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.

353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-590 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF

353-591 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-511 BPG400 24V电源

353-512 Baffle for BPG400

211-113 中心圈 with baffle DN 25 KF
354-494 BPG402 感应器

354-495 BPG402 Spare measurement system DN40CF-R