Zeta-300 光学轮廓仪

泽塔Zeta-300基础信息

型号：Zeta-300

产品：/表面轮廓测试系统

品牌：Zeta泽塔

简介：的3D成像及测试系统（为用户量身打造的表面轮廓测量设备，是表面量测领域的选择）

泽塔Zeta-300仪技术规格

Zeta-300产品尺寸(mm)

系统(长X宽X高)：510x725x773

主机：381x457x102

显示器：596x449x240

总重量：145lbs/65kg

Zeta-300性能配置 

3D成像:~1秒/点(ZiC)~10秒/点(ZSi)~25秒/点(ZDot)

像素分辨率:0.09μm(0.5x耦合镜配合100x物镜)

***小Z轴步距:2nm(压电陶瓷载台)13nm(Z轴精密丝杠传动)

Z轴分辨率：0.5(ZSi)

13nm(Zdot)

重复性3：7nm(1σ)

Zeta-300系统配置 

相机选项：640x480,1024x768,1280x960

总放大率：35,000x(光学和数字放大)

系统光源：3个大功率白光LED

自动载台：150mmx150mm(XY方向)

Z轴测试范围：40mm

泽塔Zeta-300特点

多功能光学测试模组

·Zeta-300测试系统提供多种光学测试技术，满足用户各种领域的测试需求：

·ZdotTMZ点阵3维成像技术，是Zeta所有系列产品的标配技术

·ZIC干涉反衬成像技术，实现亚纳米级粗糙度表面的成像及量化分析

·ZSI白光差分干涉技术，搭配任意物镜实现Z方向超高分辨率的测量能力

·Zx5白光干涉技术。保证Z方向高分辨率测量的同时，提供大视野范围内的测量和统计分析

测试速度快：1分钟内完成所有类型样品的3D扫描成像及统计分析，其超高的分辨能力甚至可以对纳米级的缺陷进行成像。

操作简单：自动化测试程序，一键式操作过程，测试菜单设置简单，30分钟培训速成，结果输出直观。

泽塔Zeta-300应用领域

Zeta-300测试系统支持多功能测试选项，根据客户实际需求可配备自动化机械手臂、全自动分析软件等。高精度和高重复性的设备性能是科研和工业生产***理想的选择。如下为实际应用举例：LED,PSS&缺陷监控，PSS和PR的图案高度、宽度和周期 AOI缺陷测试，包括平片、PSS片、PR片、外延片 2寸、 4寸和6寸吸真空载台 ，微流体和MEMS器件结构分析，透明或半透明的多层结构分析高纵横比结构分析，如深沟壑、深井状结构等灵活的测试工具，如cursors和cross-sections

自动化测试软件包

·多点自动序列量测

·多种不同视场的三维成像

·自动图像扫描及拼接

·自动倾斜度及及波度补偿

·自动参考面放平自动高度、尺寸、角度和面积测量。