TF1200-PECVD PECVD石墨烯生长制备炉
参考价 | ¥ 1688 |
订货量 | ≥1 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 昆山艾科迅机械有限公司
- 品牌
- 型号 TF1200-PECVD
- 产地 江苏苏州
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2017/5/6 13:55:27
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PECVD石墨烯生长制备炉,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。
PECVD石墨烯生长制备炉特征描述
此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。
功能及特点
1、利用辉光放电产生等离子体电子激活气相;
2、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量;
3、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率;
4、能广泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。
技术参数