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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>薄膜生长设备>化学气相沉积设备>TF1200-PECVD PECVD石墨烯生长制备炉

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TF1200-PECVD PECVD石墨烯生长制备炉

参考价 ¥ 1688
订货量 ≥1
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 昆山艾科迅机械有限公司
  • 品牌
  • 型号 TF1200-PECVD
  • 产地 江苏苏州
  • 厂商性质 生产厂家
  • 更新时间 2017/5/6 13:55:27
  • 访问次数 602

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


昆山艾科迅机械有限公司是上海同济大学在高温炉方面潜行研究数十载,应昆山市委市政府号召及广大客户强烈要求于昆山市经济开发区创立。公司专注于电炉生产与销售,公司拥有面积10000余平方米的专业化标准作业车间及办公场地,年生产量1000余台,拥有一批具有材料、机械、电子、自动化等方面有着高水平的专业知识和丰富的经验,为我司优质的产品提供了Z有力的技术保障。其中高级顾问团6人,专业技术团队16人,技术工人30人的电炉事业精英团队。

以*的科学设计、*的制作工艺、和强大的科研团体为广大科研院所、大学院校及工矿企业实验室提供专业的仪器设备和高品质的服务。我们本着“为人类创造较好的科学实验设备”为使命;坚持诚信、责任、健康、科学发展、创造客户价值并有效满足客户需求为基本准则;以品德和能力赢得信任,以贡献赢得回报的客户价值观;以人为本、理性追求、变革创新、*经营、协作共享的核心价值观。致力于成为高温电炉设备领域的“科技创新”,坚持“创新科技、服务未来”的经营理念,实施“以技术合作为基础,强化自主创新,树立技术优势”的技术发展战略;我们的口号是“爱科学、爱生活”。

     公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、球磨机及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。也可根据客户需求定制各式炉型,以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用,产品广泛应用于材料、物理、化学、冶金、化工、新型能源开发等领域。产品从原材料采购、生产制作、包装检验,严格的按质量安全体系,确保品质。另外,我公司还提供完善的售后服务体系,您在购买产品后遇到疑难问题时,我们将*时间为您排忧解难,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。

高温炉,马弗炉,气氛炉,管式炉,真空炉

PECVD石墨烯生长制备炉,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。

PECVD石墨烯生长制备炉特征描述 

此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。

 

功能及特点

1、利用辉光放电产生等离子体电子激活气相;

2、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量;

3、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率;

4、能广泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。

 

技术参数

 



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