JetLight 快速退火炉

基于PID处理控制器的Eurotherm可以存储20套程序，每套程序可以支持高达100个步骤的设定，带USB2.0的接口。
包含UniSoft 软件，与微软Windows操作系统兼容。通过该软件，通过链接电脑可以非常方便地实现程序编辑以及数据记录。
Semco的退火炉主要包含如下三款型号：
1）JetLight
基片从前面载入/取出；
腔体尺寸：直径50mm×深度150mm；
zui高温度高达1100摄氏度；
升温速率为150K/sec；
降温速率分段控制：从1100℃到400℃，降温速率优于200K/sec。
从400℃到100℃zui大降温速率控制在30K/sec；
2）JetFirst
基片从前面载入/取出；
zui大可支持的尺寸：直径200mm基片；
zui高温度高达1000摄氏度；
升温速率为75K/sec；
降温速率分段控制：从1000℃到400℃，降温速率优于200K/sec。从400℃到100℃zui大降温速率控制在30K/sec；
3）JetStar
也可以用于污染物处理；
基片从上面载入/取出；
zui大可支持的尺寸：直径为300mm的Wafer或者300mm×300mm的基片；
zui高温度高达1000摄氏度；
升温速率为40K/sec；
降温速率分段控制：从1000℃到400℃，降温速率优于200K/sec。从400℃到100℃zui大降温速率控制在30K/sec；