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佰力博HRMS-800高温四探针测量系统

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佰力博科技是致力于材料物理性能表征和测量领域研究的高科技企业。

佰力博科技,位于中国·光谷武汉东湖*开发区,专业从事真空、高低温、磁学和电学测量等领域的产品研发、生产、销售于一体的高科技企业。

佰力博研发的产品:高温介电测量系统、低温介电测量系统、变温介电测量系统、高温四探针测量系统、高温绝缘电阻率测量系统、多工位玻璃试管密封旋转系统、低温液氮传输泵等。

武汉佰力博科技有限公司

地址: 武汉东湖*开发区光谷新动力9-602

 

高温介电测量系统,低温介电测量系统,高低温介电测量系统,高温四探针测量系统,高温绝缘电阻率测量系统,变温介电测量系统,多工位玻璃试管密封旋转系统,低温液氮传输泵

HRMS-800是一款由佰力博自主研发的高温四探针测量系统,主要用于研究高温条件下半导体材料的导电性能,HRMS-800高温四探针测量系统可以实现室温到600℃高温、真空、气氛测量条件,测量硅、锗单晶电阻率和硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃和其他导电薄膜的方块电阻。

 

高温四探针测量系统HRMS-80技术规格:

测量条件:高温、真空、气氛;

测量温度:室温----600℃;

控温精度:±1℃ ;

显示精度:±0.1℃;

测量精度:0.05%;

电阻率:10-5 ~105 Ω.cm ;

电导率:10-5 ~105 s/cm

方块电阻:10-4 ~106 Ω/□;

电阻:10-5 ~105 Ω;

 

高温四探针测量系统HRMS-80功能特点:

1:采用双电测组合测量模式;

2可以实现高温、真空及惰性气氛条件下测量薄膜方块电阻和薄层电阻率;

3: 分析方块电阻和电阻率随温度变化的曲线;

 

4:可以自动调节施加在样品的测试电压,以防样品击穿;

 

5: 与美国keithley2400数字源表配套测量半导体材料的导电性;

 

6: 可以通过USB传输数据,格式为Excel;

 



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