Photon系列 PUM 非接触式深度测量工具显微镜
- 公司名称 北京杰忠科科技有限公司
- 品牌
- 型号 Photon系列
- 产地 国产
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2017/7/12 1:38:36
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PUM 非接触式深度测量工具显微镜
一、产品介绍
Photon系列PUM工具显微镜为一专业X、Y、Z轴座标测量显微镜,被广泛地运用在高精度测量的工业领域,如半导体行业、MEMS、磁头元件、电子元件、精密部件等。其X、Y、Z工作台行程由100*75mm到大行程400*200mm,X、Y轴的精度为3.5+L/50um,Z轴精度为5um,显示精度为1um。
① 采用95mm低景深长工作距离镜头,可以充分保证Z轴精度和舒适的测量空间。物镜倍率有5X、10X、20X、50X具体参数如下:
物镜倍率 | NA | 工作距离(WD) | fd | 视野值 |
5X | 0.13 | 34mm | 40 | φ4.8 |
10X | 0.29 | 31mm | 20 | φ2.4 |
20X | 0.42 | 20.3mm | 10 | φ1.2 |
50X | 0.55 | 13mm | 4 | φ0.4 |
② 为保证测量精度PUM*工具显微镜采用进口载物台,搭载美国高精度ACU-Rice光学尺,保证了优秀的解析度。平台规格有100x75、200x100、300x100、400x200可选。
③ PUM的QC200数据计数器的zui小读数可以从0.001mm到0.0001mm按需要选择,以满足不同精度的测量要求。QC200还配有打印机接口可以与打印机相连实现数据实时打印输出。
④ PUM工具显微镜采用高档的精微动调焦系统,策调精度为1um/格。从而充分保证了Z轴测量的精度。
⑤ 根据需要PUM*工具显微镜还可以搭配AIM测量软件扩展测量功能,可以对点、线、圆、孤等基本参数进行便捷测量。
二、适用领域
PUM*工具显微镜在半导体封装测试行业,我们一般需要测试的参数有引线框架的高度、深度、圆半径、毛刺、邦定线的线高、线宽、Wafer上台阶高度等技术指标。PUM*工具显微镜的zui大亮点是Z轴测量精度。它的精度是5um重复精度可达3um。特别适用于引线框架技术参数的量测。
PUM*工具显微镜
作的舒适性
数字成像和影像处理测量技术
非接触Z轴高度测量
与数据处理系统的协同工作
低倍率到高倍率轻松搞定
多种照明的选择总有一款能够辨清zui细微的差别
P/N | Item | N.A. | W.D. mm | Focal Length mm | Resolution μm | Depth of Focus μm | Field of View mmΦ24Eyepiece |
APO2X | 2X无穷远超长工作距物镜 | 0.05 | 34.6 | 80 | 4 | 18 | Φ10.7 |
APO5X | 5X 无穷远超长工作距物镜 | 0.13 | 34 | 40 | 2 | 14 | Φ4.8 |
APO10X | 10X 无穷远超长工作距物镜 | 0.29 | 31 | 20 | 1 | 3.5 | Φ2.4 |
APO20X | 20X 无穷远超长工作距物镜 | 0.42 | 20.3 | 10 | 0.7 | 1.6 | Φ1.2 |
APO50X | 50X 无穷远超长工作距物镜 | 0.55 | 13 | 4 | 0.5 | 0.9 | Φ0.4 |