圆形，矩形溅射靶 美国AJA研发型磁控溅射靶枪

研发溅射靶（HV 或UHV）

AJA 公司从1991 年来已经研发了上百种不同类型的磁控溅射源，其中包括许多定制化溅射源。根据基片几何形状，腔室结构，靶材材料组成和薄膜规格的不同需求可选择不同型号溅射源，如矩形，圆形，塔式和圆柱形。

主要特点

Modular magnet array isolated from cooling water

模块化磁铁组合，与冷却水隔离

Magnetic material sputtering of thicker targets

更厚的靶材磁性材料溅射

Easy removal of larger magnetic targets

易于更换更大磁性靶材

Integral gas injection and chimney system

内部注气和气路管道系统

Efficient target cooling with no vacuum/water seals

高效靶材冷却，无真空水密封

Clamped target mounting for optimal heat transfer

靶材夹紧装置，优化热传递

RF & DC compatibility

RF&DC 兼容

Rugged HV construction

加固HV 结构

Operating pressure: (0.3 mTorr - 1.0 Torr)

操作气压(0.3 mTorr - 1.0 Torr)

In-situ tilt or manual tilt for optimum uniformity

内置偏转或手动偏转，获得较高均匀性

Custom versions available

可定制化型号

Source/power supply/target packages available

溅射源/电源/靶材包装

主要应用

CD/DVD disk coatings (e.g. reflective, phase change)

CD/DVD 光盘镀膜（如反射，相变）

Semiconductor

半导体

Conductive metal/resistive metal/Insulating Films

导电金属/电阻金属/绝缘薄膜

Transparent electrical conductors (e.g. ITO)

透明电导体（如ITO)）

Optical communications applications (e.g. pump lasers)

光学通信应用（如泵补激光）

Wear resistant films

耐磨薄膜

Lens coatings (reflective/anti-reflective/ hard/color)

透镜镀膜（反射/防反射/坚硬/色彩）

Precious metals (for maximum target utilization)

贵金属（zui大靶材利用率）

Thin film sensors

薄膜传感器

Coatings for surgical/medical implements & implants

外科/医药实施&移植镀膜

Magnetic storage media and heads (HD, GMR , TMR)

磁性储存媒介和测头（HD, GMR , TMR）

Photovoltaic thin films (solar cells)

光伏薄膜（太阳电池）

美国AJA公司中国区总代理-重庆眺望科技有限公司

AJA致力于研发生产薄膜沉积系统，包括磁控溅射系统，电子束蒸发系统，热蒸发系统和离子束刻蚀系统。1989年William Hale在美国马萨诸塞州创立了AJA这个品牌，开始是以物理气相沉积产品供应商问世。随着越来越多的系统和磁控溅射源世界，AJA公司不断突破自己，发现更多创新设计解决方案。其中一些方案一直被模仿，但*。AJA始终保持着薄膜技术领域的前沿地位。