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NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机

参考价 ¥ 16
订货量 ≥1
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 那诺中国有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型号
  • 产地 美国
  • 厂商性质 生产厂家
  • 更新时间 2023/11/13 10:34:36
  • 访问次数 1933

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那诺中国提供美国那诺-马斯特薄膜工艺加工设备、德国阿尔法微波等离子清洗去胶机等。

ALD,PECVD,RIE,磁控溅射,热蒸镀,电子束,离子束,热真空试验,晶圆清洗机,PA-MOCVD

产地类别 进口 价格区间 面议
应用领域 医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药

NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机

NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机产品特点:

  • 不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔
  • 70,250或500 l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
  • 13.56MHz,300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
  • 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
  • 带观察视窗的腔门易于上下载片
  • 基于LabView软件的PC计算机全自动控制
  • 带密码保护功能的多级访问控制
  • *的安全联锁

选配项:

  • 向上、向下或侧面溅射
  • RF、DC以及脉冲DC溅射
  • 共溅射、反应溅射
  • 组合溅射
  • RF或DC偏压(1000V)
  • 样品台可加热到700°C
  • 膜厚监测仪
  • 基片的RF射频等离子清洗
  • 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片

应用:

  • 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
  • 光学以及ITO涂覆
  • 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
  • 带RF射频等离子放电的反应溅射

型号:

  • NSC-4000:基于PC计算机全自动控制的独立式系统
  • NSC-3500:基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统
  • NSC-3000:PC计算机全自动控制的台式系统
  • NSC-1000:半自动控制的台式系统

(以下为双系统型号)

  • NSR-4000:溅射/RIE系统
  • NSP-4000:溅射/PECVD系统
  • NST-4000:溅射/热蒸发系统


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