AJA公司ATC ORION系列磁控溅射镀膜系统是*的ATC系列下的一款结构紧凑型设计,拥有高性价比。
这些高压和超高压溅射系统不仅沿用了许多技术成熟的ATC-V和ATC-F溅射系统的设计特点和通用部件,还能提供一些*的功能,例如可调式气体路管(已申请),其旨在优化沉积均匀性。标准的ATC ORION模块(腔体,框架,集群法兰等)一般都有现货,因此AJA能够缩短交货时间。这些系统配置了AJA的*ST-20-O(HV)和A320-XP-O (UHV)磁控溅射源(2英寸和3英寸),并且可以安装加热至850 °C的基片加热器,zui大可放置直径为4英寸的基板,直径为5.25" 和4" x 4"的基片能够配置特殊的基片支架,zui高可加热至 350°C。
设备特点
- 腔室尺寸10", 12" 和 14"
- 高真空和超高真空型号
- 1.5", 2" 和3" 溅射源
- 基片支架zui大尺寸 6"
- 预真空室
- 基片片盒
- 自动加载
- 电脑控制
- 定制化系统
- 优于台式系统
美国AJA公司中国区总代理-重庆眺望科技有限公司
AJA致力于研发生产薄膜沉积系统,包括磁控溅射系统,电子束蒸发系统,热蒸发系统和离子束刻蚀系统。1989年William Hale在美国马萨诸塞州创立了AJA这个品牌,开始是以物理气相沉积产品供应商问世。随着越来越多的系统和磁控溅射源世界,AJA公司不断突破自己,发现更多创新设计解决方案。其中一些方案一直被模仿,但*。AJA始终保持着薄膜技术领域的前沿地位。
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