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HCCx0xR Instec 圆形高低温晶元夹盘系统

具体成交价以合同协议为准
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晶圆夹盘温控夹盘温控晶圆高低温晶圆夹盘

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公司介绍主营产品

上海恒商精密仪器有限公司(SHANGHAI HENGSHANG INSTRUMENTS CO., LTD)是一家代理科研仪器仪表的外贸公司。提供从产品咨询到售后维修全程服务。本公司代理来自美国、瑞典、中国台湾等多个国家及地区的诸多品牌，如INSTEC， FLC Electronics， Diagnostic Instruments，Orb Optronix。涉及冷热台、高低温晶圆夹盘、冷热平板、液晶参数测试仪、波形产生器、各种放大器、 显微镜影像系统、LED检测系统、分光辐射度计、LED电源等产品。

恒商为美国Instec中国区总代理，我们能提供更优惠的价格。并且同时也是瑞典FLC Electronics等品牌的中国区*代理。Instec和FLC Electronics分别是美国科罗拉多州立大学和瑞典查尔姆斯理工大学的液晶小组分立出的公司。产品其性能满足液晶材料研究的苛刻要求，也广泛适用其他科研应用。他们是恒商主要代理的品牌。

恒商拥有服务周到的销售团队，为您提供专业的技术解决方案，值得您的信赖！我们提供科研交流机会，不定期举行行业培训，帮助客户正确掌握产品的应用、保养等专业知识。

地 址：上海市徐汇区漕宝路400号明申商务广场1604室
邮 编：200233
电 话：021-62412881
传 真：021-62412881转810
邮 箱：sales@hsinstrument.com

Adress：Suite 1604，No.400, Caobao Rd., Xuhui Dist., Shanghai 200233, China
Tel　 ：021-62412881
Fax　 ：021-62412881转810
Email ：sales@hsinstrument.com
展开

冷热台，高低温晶圆夹盘，冷热平板，温控探针台，液晶参数测试仪，液晶盒，液晶材料，高电压放大器，高压信号发生器

详细信息 在线询价

Instec高低温晶圆夹盘——来自液晶院校美国科罗拉多大学的精密温控装置



圆形夹盘

高低温晶圆夹盘系列


 HCC-R [原始大小]


功能特点

 

可编程精密控温

超低的盘面温度梯度

独立的上盘面真空气槽，用于固定多种尺寸晶圆

尺寸超薄，可集成进探针台

支持顶杆孔

三轴（可选），用于防漏电

卡盘台面不接地

下盘面真空吸气槽（可选）

适用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圆


配件配置

 

高低温晶圆夹盘

任选1台

mK2000温度控制器有USB/IEEE等接口供选

√

制冷系统

液氮泵

详询上海恒商

 

液氮罐

容量2L/10L/30L

 

水泵冷却外壳防止过热，并可加速自然冷却

 

*注：”√”表示出厂配置中包含此项。详询sales@hsinstrument.com



技术参数

 

温度分辨率

0.001℃(at 100℃)

温度稳定性

±0.05℃(at 100℃)

温度均匀度

±0.1℃/cm可升级均匀性

zui小控温速度

±0.1℃/小时

传感器/控制算法

100Ω铂质RTD

PID控制可选线性直流电源

表面光滑度

10 μm(常温下)

*注：1、表中制冷数据为使用LN2-P4液氮泵时的表现，液氮泵型号不同，制冷表现也会有差异，请悉知。

2、性能可变通，详情请sales@hsinstrument.com

 


 

 

 



结构图–以300mm夹盘为例


HCC-R-Struct [原始大小]

 



型号规格

 

 

 

 

 

 

 

型号(字母T表示三轴接口)

盘面尺寸

适用样品尺寸

温度范围

zui大制热速度

HCC206R/HCC206RT

150 mm

12 mm～152 mm

-100℃～200℃

+60℃/分钟(at 100℃)

HCC306R/HCC306RT

-100℃～310℃

HCC208R/HCC208RT

200 mm

40 mm～203 mm

-80℃～200℃

+50℃/分钟(at 100℃)

HCC308R/HCC308RT

-80℃　～310℃

HCC20CR/HCC20CRT

300 mm

95 mm～304 mm

-60℃～200℃

+30℃/分钟(at 100℃)

HCC30CR/HCC30CRT

-60℃～310℃

*注：1、表中制冷数据为使用LN2-P4液氮泵时的表现，液氮泵型号不同，制冷表现也会有差异，请悉知。

    2、夹盘上下表面的独立真空吸气槽(可选);支持Swagelok接口(可选);支持顶杆孔(可选);制冷需液氮

3、性能可变通，详情请sales@hsinstrument.com





高低温晶圆夹盘常用产品一览表

型号

温度范围1

样品区

三轴

方形

圆形

帕尔贴制冷2

HCC206R

-100℃ to 200℃

152 mm 直径



Yes


HCC206RT

-100℃ to 200℃

152 mm直径

Yes


Yes


HCC306R

-100℃ to 310℃

152 mm直径



Yes


HCC306RT

-100℃ to 310℃

152 mm直径

Yes


Yes


HCC208R

-80℃ to 200℃

203 mm直径



Yes


HCC208RT

-80℃ to 200℃

203 mm直径

Yes


Yes


HCC308R

-80℃ to 310℃

203 mm直径



Yes


HCC308RT

-80℃ to 310℃

203 mm直径

Yes


Yes


HCC20CR

-60℃ to 200℃

304 mm直径



Yes


HCC20CRT

-60℃ to 200℃

304 mm直径

Yes


Yes


HCC30CR

-60℃ to 310℃

304 mm直径



Yes


HCC30CRT

-60℃ to 310℃

304 mm直径

Yes


Yes


HCC214S

-120℃ to 200℃

101 mm x 101 mm


Yes



HCC314S

-120℃ to 310℃

101 mm x 101 mm


Yes



HCC216S

-100℃ to 200℃

152 mm x 152 mm


Yes



HCC316S

-100℃ to 310℃

152 mm x 152 mm


Yes



HCC218S

-80℃ to 200℃

203 mm x 203 mm


Yes



HCC318S

-80℃ to 310℃

203 mm x 203 mm


Yes



HCC602

-190℃ to 600℃

35 mm x 35 mm


Yes



HCC302

-120℃ to 310℃

48 mm x 60 mm


Yes



TC102S

-25℃ to 90℃

40 mm x 40 mm


Yes


Yes

TC104S

-25℃ to 90℃

100 mm x 100 mm


Yes


Yes

1部分型号可扩大温度范围，请上海恒商以了解。

2帕尔贴制冷：冷热台使用帕尔贴冷却，无需附加任何制冷配件即可制造低温环境。（例如LN2-SYS液氮冷却装置、WPC3A/WPC3U液冷装置）


欲了解更多型号详请，请咨询上海恒商

 

另：Instec英斯特科的主要产品包括：

 

高精度温控装置

  冷热台

  高低温晶圆夹盘

  冷热平板

液晶参数测试仪

液晶测试空盒

液晶材料

 

欲咨询产品请本公司上海恒商精密仪器有限公司

:sales@hsinstrument.com

 

INSTEC & HS-Logo-big


本公司为美国Instec中国区总代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中国区*代理，不经过中间商直接与原厂接触，因此能提供*惠的价格。

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