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施启乐(广州)仪器有限公司

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小型等离子清洗机--PCE-6

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  合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备:包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*,为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异,质量可靠,性价比高,环保节能、返修率低,远销到欧洲,美国,日本,德国等许多国家,广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域,受到客户*好评。
 
  科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

真空管式炉,高温箱式炉,高速震动球磨机,RTP快速退火炉,高温高压炉,涂覆机,电池制备设备等

        PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz1%),输出功率7.2W10.2W29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

 

技术参数

主要特点

  • 通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
  • 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
  • 设有一个三通阀,可精确控制进气流量,以及大气流清洗腔体。
  • 选用大功率色射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

参数

  • 电源:AC220V  50/60Hz
  • 输出功率:7.2W10.2W29.6W
  • 真空泵功率:<500W
  • 总功率:<600W 
  • 射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节
  • 等离子腔体:高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗
  • 真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵
  • 极限真空度:50mtorr
  • 通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2ArH2O2Air和混合气体等(根据材料性质选定)

产品规格

  • 尺寸:400mm×300mm×300mm
  • 重量:10.2kg

可选配件

  • 2″-6″石英舟(盛放基片)
  • 2-4通道质子或浮子混气系统

质保期

一年质保期,终身维护



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